特許

J-GLOBAL ID：200903091427171923

欠陥検査装置及び欠陥検査方法

発明者： 高橋 直弘
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 服部 毅巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-315077
公開番号（公開出願番号）：特開2006-126020
出願日： 2004年10月29日
公開日（公表日）： 2006年05月18日
要約：

【課題】 擬似欠陥を除外して高い検査感度で欠陥検査が可能な欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。【解決手段】 欠陥検出手段2は、所定の検査感度で試料表面の欠陥検出を行い、擬似欠陥特定手段4は、欠陥検出により得られた欠陥情報から擬似欠陥を特定し、非検査領域設定手段5は、特定した擬似欠陥の検出箇所を非検査領域に設定する。そして、欠陥検出手段2は、設定された非検査領域を検査せずに欠陥検出を繰り返すので、検査感度を高められる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

試料表面の欠陥を検査する欠陥検査装置において、 所定の検査感度で前記試料表面の欠陥検出を行う欠陥検出手段と、 前記欠陥検出により得られた欠陥情報から擬似欠陥を特定する擬似欠陥特定手段と、 特定した前記擬似欠陥の検出箇所を非検査領域に設定する非検査領域設定手段と、を有し、 前記欠陥検出手段は、設定された前記非検査領域を検査せずに、前記欠陥検出を繰り返すことを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/956 ,  G06T 1/00 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01N21/956 A ,  G06T1/00 305A ,  H01L21/66 J

Fターム (27件)：

2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051BA10 ,  2G051CB05 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01 ,  2G051EB10 ,  2G051ED01 ,  4M106AA01 ,  4M106CA38 ,  4M106DJ11 ,  4M106DJ14 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ38 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CC01 ,  5B057CF04 ,  5B057CH20 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC40

引用特許：

出願人引用 (3件)

• パターン欠陥検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-106046   出願人：ソニー株式会社
• カラーフィルタの検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-287225   出願人：凸版印刷株式会社
• プリント基板パターン検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-039700   出願人：日本電気株式会社

審査官引用 (2件)

• 外観検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-076942   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• カラーフィルタの検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-287225   出願人：凸版印刷株式会社