特許
J-GLOBAL ID：200903091481017557

SEM画像の白帯領域抽出処理方法およびSEM画像における特徴量算出方法

発明者：
小林 秀章

小林 秀章 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (1件)： 金山 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-114657
公開番号（公開出願番号）：特開2005-302445
出願日： 2004年04月08日
公開日（公表日）： 2005年10月27日
要約：
【課題】 対象のSEM画像を原画像とする、輪郭を形成する白帯領域の抽出処理方法で、コントラストが弱い場合においても、抽出された白帯領域が途切れ途切れになることが少ない抽出処理方法を提供する。【解決手段】 原画像の各画素Pijについて、その画素の近傍領域の画素値zを位置(x、y)の関数として表現した下記の式(1)のテンプレート関数で、最小2乗近似し、 z=f(x、y) (1)当該画素Pijが、得られた近似関数の尾根上にあるか否かを判定し、その判定結果に応じて当該画素Pijに値1または値0を割り当てることによって画像を2値化する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
検査対象のSEM画像(電子顕微鏡画像)を原画像とし、該原画像の各画素の輝度値を表す画素値をもとに、対象とする原画像の輪郭を形成する白帯領域(ハイライト帯部)とその他の領域とに区分けして、白帯領域を抽出するSEM画像の白帯領域抽出処理方法であって、原画像の各画素Pijについて、その画素の近傍領域の画素値zを位置(x、y)の関数として表現した下記の式(1)のテンプレート関数で、最小2乗近似し、 z=f(x、y) (1) 当該画素Pijが、得られた近似関数の尾根上にあるか否かを判定し、その判定結果に応じて当該画素Pijに値1または値0を割り当てることによって画像を2値化する、各画素Pijごとの2値化処理を行うことを特徴とするSEM画像の白帯領域抽出処理方法。
IPC (6件)：
H01J37/22 ,  G01B15/04 ,  G01N23/225 ,  G03F1/08 ,  G06T1/00 ,  G06T5/00
FI (6件)：
H01J37/22 502H ,  G01B15/04 ,  G01N23/225 ,  G03F1/08 S ,  G06T1/00 305A ,  G06T5/00 200Z
Fターム (46件)：
2F067AA51 ,  2F067BB01 ,  2F067BB04 ,  2F067CC16 ,  2F067HH06 ,  2F067JJ05 ,  2F067LL16 ,  2F067RR00 ,  2F067RR12 ,  2F067RR20 ,  2F067RR31 ,  2F067RR33 ,  2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001CA03 ,  2G001FA01 ,  2G001FA18 ,  2G001GA06 ,  2G001HA07 ,  2G001JA16 ,  2G001KA20 ,  2H095BD03 ,  2H095BD14 ,  2H095BD26 ,  2H095BD27 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057BA30 ,  5B057CA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB02 ,  5B057CB06 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CE12 ,  5B057CF01 ,  5B057DA08 ,  5B057DB02 ,  5B057DB05 ,  5B057DB08 ,  5B057DB09 ,  5B057DC03 ,  5B057DC04 ,  5B057DC22
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (3件)

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