特許
J-GLOBAL ID：200903087541423501
SEM画像における特徴量算出方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金山 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-278366
公開番号（公開出願番号）：特開2004-118375
出願日： 2002年09月25日
公開日（公表日）： 2004年04月15日
要約：
【課題】検査対象のSEM像(電子顕微鏡画像)に基づいて、その全体または特定部分の面積や幅、高さなどの特徴量を評価する評価方法で、評価にバラツキが発生しない方法を提供する。【解決手段】順に、(a)原画像を、各画素の輝度値をもとに、ハイライト帯部とその他の領域とに区分けして、2値化画像を得る2値化処理と、(b)得られた2値化画像をもとに、SEM画像のハイライト帯部を細線化して、細線化した画像を得る細線化処理と、(c)必要に応じ、細線化した画像を修正して、細線により閉じた細線輪郭閉図形を新たに形成する修正工程と、(d)細線輪郭閉図形に対し、図形内を塗りつぶして、塗りつぶし画像を得る塗りつぶし工程と、(e)塗りつぶし画像をもとに、面積や幅、高さなどの特徴量を算出する算出処理とを行なうものである。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
検査対象のSEM画像(電子顕微鏡画像)を原画像とし、該原画像に基づいて、その全体または特定部分の面積や幅、高さなどの特徴量を算出する画像処理方法であって、順に、(a)原画像を、各画素の輝度値をもとに、ハイライト帯部とその他の領域とに区分けして、2値化画像を得る2値化処理と、(b)得られた2値化画像をもとに、SEM画像のハイライト帯部を細線化して、細線化した画像を得る細線化処理と、(c)必要に応じ、細線化した画像を修正して、細線により閉じた細線輪郭閉図形を新たに形成する修正工程と、(d)細線輪郭閉図形に対し、図形内を塗りつぶして、塗りつぶし画像を得る塗りつぶし工程と、(e)塗りつぶし画像をもとに、面積や幅、高さなどの特徴量を算出する算出処理とを行なうものであることを特徴とするSEM画像における特徴量算出方法。
IPC (3件)：
G06T7/60
, G01N23/225
, H01J37/22
G06T7/60 150J
, G01N23/225
, H01J37/22 502H
2G001AA03
, 2G001BA07
, 2G001CA03
, 2G001FA29
, 2G001FA30
, 2G001GA06
, 2G001GA07
, 2G001GA08
, 2G001JA13
, 2G001JA16
, 2G001LA20
, 2G001SA00
, 2G001SA30
, 5L096AA06
, 5L096BA03
, 5L096BA18
, 5L096EA04
, 5L096EA06
, 5L096EA43
, 5L096FA37
, 5L096FA59
, 5L096FA64
, 5L096GA19
, 5L096GA51
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (3件)
前のページに戻る
