特許

J-GLOBAL ID：200903091708768155

露光装置

発明者： 荒井 治
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-317769
公開番号（公開出願番号）：特開2004-153092
出願日： 2002年10月31日
公開日（公表日）： 2004年05月27日
要約：

【課題】温度変化が生じて参照鏡を支持する部分が移動してもステージ位置計測を精度良く行うことができる位置検出装置を備えた露光装置を提供する。【解決手段】露光装置EXは、投影光学系PLと、投影光学系PLの光軸AXに垂直なXY平面内で移動可能な基板ステージPSTと、基板ステージPSTのX軸方向の位置を検出する位置検出装置20とを備えている。位置検出装置10は、基板ステージPSTに設けられたX移動鏡17Xと、投影光学系PLの外側であって、線膨張の方向がY軸方向となる部分に設けられた参照鏡19A,19Bと、移動鏡及び参照鏡19A,19Bのそれぞれに対してレーザビームを照射し、移動鏡及び参照鏡19A,19Bのそれぞれから発生した反射光を干渉するレーザ干渉計18とを備えている。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

投影光学系と、被露光物体を載置するとともに前記投影光学系の光軸に垂直な平面内で移動可能なステージと、前記ステージの前記平面内における第1の方向の位置を検出する位置検出装置とを備えた露光装置において、 前記位置検出装置は、前記ステージに設けられた移動鏡と、 前記投影光学系の外側であって、線膨張の方向が前記平面内で前記第1の方向と交わる第2の方向となる部分に設けられた参照鏡と、 前記移動鏡及び前記参照鏡のそれぞれに対して光ビームを照射し、前記移動鏡及び前記参照鏡のそれぞれから発生した光ビームの干渉光を検出する干渉計とを備えることを特徴とする露光装置。

IPC (4件)：

H01L21/027 ,  G01B9/02 ,  G01B11/00 ,  G03F7/20

FI (5件)：

H01L21/30 503A ,  G01B9/02 ,  G01B11/00 G ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 515G

Fターム (31件)：

2F064AA02 ,  2F064AA06 ,  2F064BB01 ,  2F064DD02 ,  2F064DD08 ,  2F064FF01 ,  2F064GG12 ,  2F064GG22 ,  2F065AA03 ,  2F065AA20 ,  2F065CC00 ,  2F065CC20 ,  2F065EE02 ,  2F065FF51 ,  2F065GG04 ,  2F065LL12 ,  2F065QQ42 ,  5F046AA22 ,  5F046CB20 ,  5F046CB26 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC16 ,  5F046CC17 ,  5F046DA26 ,  5F046DB05 ,  5F046DB10 ,  5F046DC07 ,  5F046DC09 ,  5F046DC12

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 第1部材と第2部材との間の位置合わせを検出する装置およびその決定方法並びにリソグラフィ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-188296   出願人：株式会社ニコン
• 位置計測装置及びパターン測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-186831   出願人：株式会社ニコン
• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-260345   出願人：株式会社ニコン