特許
J-GLOBAL ID：200903091777390849

ウェーハシートのエキスパンド装置

発明者：
木林 茂樹

木林 茂樹 について

, 
西倉 隆

西倉 隆 について


出願人/特許権者：
NECマシナリー株式会社

NECマシナリー株式会社 について


代理人 (6件)： 江原 省吾 ,  田中 秀佳 ,  白石 吉之 ,  城村 邦彦 ,  熊野 剛 ,  山根 広昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-120336
公開番号（公開出願番号）：特開2004-327714
出願日： 2003年04月24日
公開日（公表日）： 2004年11月18日
要約：
【課題】多数の半導体ペレットを接着したウェーハシートを貼り付けたウェーハリングを、傾斜させることなく均一に引き伸ばす。【解決手段】ウェーハシートのエキスパンド装置10は、固定リング部30と、加圧リング部40とを備えている。固定リング部30は、固定部材31と固定リング32とを有し、加圧リング部40は、昇降部材41と加圧リング44とを有する。固定部材31と昇降部材41とは、凹溝35,47にOリング36,48を有し、互いの摺動面37,49を摺動する。多数の半導体ペレット1を接着したウェーハシート200を貼り付けたウェーハリング300を固定リング32の上に配置し、固定部材31と昇降部材41とで形成される密閉された隙間55に圧縮エアを供給すると、加圧リング44がウェーハリング300を押し下げて、ウェーハシート200を引き伸ばす。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
多数の素子が接着されたウェーハシートを貼り付けたウェーハリングを、このウェーハリングの内径より小さい外径を有する固定リング部に、固定リング部の外径よりも大きい内径を有する加圧リング部を介して押し付けることによって、ウェーハシートを引き伸ばすウェーハシートのエキスパンド装置において、 前記加圧リング部の内周面と固定リング部の外周面との間に周方向に連通する密閉された隙間を形成し、この隙間に前記加圧リング部に設けた開口部を通して圧縮エアを供給することによって加圧リング部を下降または上昇させ、真空吸引力を作用させることによって加圧リング部を上昇または下降させるようにしたことを特徴とするウェーハシートのエキスパンド装置。
IPC (1件)：
H01L21/301
FI (1件)：
H01L21/78 W
引用特許：
審査官引用 (5件)
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