特許
J-GLOBAL ID：200903091821569290
液晶装置の製造装置、液晶装置の製造方法、液晶装置、及び電子機器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
西 和哉
, 志賀 正武
, 青山 正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-300270
公開番号（公開出願番号）：特開2007-108502
出願日： 2005年10月14日
公開日（公表日）： 2007年04月26日
要約：
【課題】 プラズマに起因して所望形状の無機配向膜が得られなくなってしまうのを防止し、良好な無機配向膜を形成できるようにした液晶装置の製造装置及び液晶装置の製造方法と、これによって得られる液晶装置、電子機器を提供する。【解決手段】 基板の内面側に無機配向膜を形成してなる液晶装置の製造装置である。成膜室2と、成膜室2内にて基板Wに配向膜材料をスパッタ法で成膜し、無機配向膜を形成するためのスパッタ装置3とを備えている。成膜室2内の、スパッタ装置3におけるターゲット5と基板Wとの間に、基板Wがターゲット5側で発生したプラズマに晒されないようにプラズマを遮断するための接地された金属板9が配設されている。金属板9には、ターゲット5に対して所定の角度となる斜め方向の位置に、ターゲット5から放出された配向膜材料を選択的に通過させるための開口部10が設けられている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
対向する一対の基板間に液晶を挟持してなり、前記一対の基板のうちの少なくとも一方の基板の内面側に無機配向膜を形成してなる液晶装置の製造装置であって、
成膜室と、該成膜室内にて被処理体となる前記基板に配向膜材料をスパッタ法で成膜し、無機配向膜を形成するためのスパッタ装置とを備え、
前記成膜室内の、前記スパッタ装置におけるターゲットと前記基板との間に、該基板が前記ターゲット側で発生したプラズマに晒されないようにプラズマを遮断するための接地された金属板が配設され、
前記金属板には、前記ターゲットに対して所定の角度となる斜め方向の位置に、前記ターゲットから放出された配向膜材料を選択的に通過させるための開口部が設けられていることを特徴とする液晶装置の製造装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
2H090HB02Y
, 2H090HC01
, 2H090HD14
, 2H090MA14
, 2H090MB06
出願人引用 (1件)
審査官引用 (10件)
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