特許
J-GLOBAL ID：200903091907096239
常圧CVD装置の排気浄化装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-316674
公開番号（公開出願番号）：特開平11-152574
出願日： 1997年11月18日
公開日（公表日）： 1999年06月08日
要約：
【要約】【課題】 未処理排気ガスの漏れ等の不具合を起こすことなく、配管系統の切換えに伴う圧力変動の影響がCVD装置側に影響することを抑制し、均一で安定した成膜量や膜厚分布が得られる常圧CVD装置の排気浄化装置を提供する。【解決手段】 常圧CVD装置1に接続された入口側排気管2Aと、この入口側排気管から分岐した複数の分岐管2-1,2-2と、各分岐管上に設けられた浄化手段3a,3b,4a,4bと、各分岐管を選択的に使用するための切換え弁手段5a,5bと、各分岐管が集合する出口側排気管2Bとを備えた常圧CVD装置の排気浄化装置において、前記入口側排気管上に、風量センサ7およびこの風量センサの検出風量に基づいて駆動制御される第1ブロワ8を備え、前記出口側排気管上に、圧力センサ11およびこの圧力センサの検出圧力に基づいて駆動制御される第2ブロワ12を備えた。
請求項（抜粋）：
常圧CVD装置に接続された入口側排気管と、この入口側排気管から分岐した複数の分岐管と、各分岐管上に設けられた浄化手段と、各分岐管を選択的に使用するための切換え弁手段と、各分岐管が集合する出口側排気管とを備えた常圧CVD装置の排気浄化装置において、前記入口側排気管上に、風量センサおよびこの風量センサの検出風量に基づいて駆動制御される第1ブロワを備え、前記出口側排気管上に、圧力センサおよびこの圧力センサの検出圧力に基づいて駆動制御される第2ブロワを備えたことを特徴とする常圧CVD装置の排気浄化装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 16/44 E
, H01L 21/205
