特許
J-GLOBAL ID：200903091908466625

基板載置台表面保護板、処理室内部のクリーニング方法及び基板載置台のクリーニング方法

発明者：
河南 博

河南 博 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 芦田 哲仁朗 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-023007
公開番号（公開出願番号）：特開平11-219939
出願日： 1998年02月04日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：
【要約】【課題】 クリーニングの際、パーティクルを発生させることのない基板載置台表面保護板とそれを用いた処理室内部及び基板載置台のクリーニング方法を提供すること。【解決手段】 基板載置台表面保護板27のクリーニング側表面部又は全体をマイクロクラック4が実質的にない炭化珪素で形成し、これを基板載置台31上、例えば基板載置台31の基板を設置すべき部位25に設置し、当該保護板27からパーティクルを発生させることなく、該部位25の周りの部分26から付着物30を除去するクリーニングを行うことを可能にした。
請求項（抜粋）：
基板載置台上の所定の部位に設置されて、該部位をクリーニングガスから保護するための基板載置台表面保護板であって、少なくともクリーニングガスにさらされる側の表面部をマイクロクラックが実質的になく形成した炭化珪素板から成ることを特徴とする基板載置台表面保護板。
IPC (6件)：
H01L 21/3065 ,  C23C 14/00 ,  C23C 16/42 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/68
FI (6件)：
H01L 21/302 N ,  C23C 14/00 B ,  C23C 16/42 ,  C23C 16/44 J ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/68 N
引用特許：
審査官引用 (4件)
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