特許
J-GLOBAL ID：200903091950178931
磁気記録媒体の検査方法及び装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松山 圭佑 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-340432
公開番号（公開出願番号）：特開2002-148199
出願日： 2000年11月08日
公開日（公表日）： 2002年05月22日
要約：
【要約】【課題】 磁気テープ等の磁気記録媒体の表面の1μm以下の筋状欠陥を光学的に検出する。【解決手段】 磁気記録媒体検査装置10は、磁気テープ12の被検査部12Aに対して斜めに平行光ビーム18を帯状に照射して帯状光線照射領域18Aを形成し、ここを通る磁気テープ12上の筋状欠陥における平行光ビームの散乱光をラインセンサ22で捉え、その受光信号の強度が一定以上のとき判定装置24によって筋状欠陥検出信号を出力する。平行光ビーム18の照射光軸19とラインセンサ22の受光軸22Aは、筋状欠陥内で平行光ビームが反射したとき、その反射光がラインセンサ22に受光されるように設定される。
請求項（抜粋）：
磁気記録媒体の被検査部の表面での垂線に対して斜めの照射光軸に沿って平行光ビームを帯状に照射して、被検査部の表面に、該表面の一方向の一端から他端に至る帯状照射領域を形成し、この帯状照射領域における前記平行光ビーム照射による散乱光を光センサにより受光して、受光信号の強度が所定値を超えたとき被検査部表面の欠陥として検出することを特徴とする磁気記録媒体の検査方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/892 A
, G11B 5/84 C
2G051AA32
, 2G051AB07
, 2G051AC21
, 2G051BA10
, 2G051BB01
, 2G051BB09
, 2G051BB11
, 2G051BC06
, 2G051CA03
, 2G051CA04
, 2G051CB05
, 2G051CC20
, 2G051DA06
, 2G051EA08
, 2G051EB01
, 2G051EB02
, 5D112AA22
, 5D112JJ05
