特許
J-GLOBAL ID：200903091994837711

高耐熱性感光性樹脂組成物

発明者：
木村 正志

木村 正志 について

, 
金谷 隆一郎

金谷 隆一郎 について

, 
丸山 公幸

丸山 公幸 について


出願人/特許権者：
旭化成株式会社

旭化成株式会社 について


代理人 (1件)： 鳴井 義夫 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-202732
公開番号（公開出願番号）：特開2003-287889
出願日： 2002年07月11日
公開日（公表日）： 2003年10月10日
要約：
【要約】【課題】 優れたリソグラフィー特性を有し、かつ加熱硬化後のレリーフパターンが、極めて高い耐熱性、耐薬品性を有する、高性能な感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (A)光重合性の不飽和二重結合を有するポリアミド、(B)光重合性の不飽和二重結合を有するモノマー、(C)光重合開始剤、(D)熱架橋剤を含有する感光性樹脂組成物を調製する。
請求項（抜粋）：
(A)光重合性の不飽和結合を有するポリアミド:100質量部、(B)光重合性の不飽和二重結合を有するモノマー:1〜50質量部、(C)光重合開始剤:1〜20質量部、(D)熱架橋剤:5〜30質量部、を含有する感光性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/038 504 ,  C08F290/14 ,  G03F 7/004 501
FI (3件)：
G03F 7/038 504 ,  C08F290/14 ,  G03F 7/004 501
Fターム (24件)：
2H025AA10 ,  2H025AA13 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025BC69 ,  2H025BC70 ,  2H025CA00 ,  2H025CC17 ,  2H025FA17 ,  4J027AC02 ,  4J027AC03 ,  4J027AC04 ,  4J027AD02 ,  4J027BA17 ,  4J027BA19 ,  4J027BA20 ,  4J027BA26 ,  4J027CC04 ,  4J027CC05 ,  4J027CD10
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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