特許
J-GLOBAL ID：200903054164397066
ネガ型感光性組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-122654
公開番号（公開出願番号）：特開平7-128855
出願日： 1994年06月03日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：
【要約】【構成】 アルカリ可溶性樹脂、酸の作用により該アルカリ可溶性樹脂を架橋可能な架橋剤及び光の作用により酸を発生する化合物として特定のハロアルキル置換スチリルトリアジン系化合物を含むことを特徴とするネガ型感光性組成物。【効果】 本発明のネガ型感光性組成物は、レジスト膜厚が厚い場合でも高アスペクト比のパターン形成を可能とする。
請求項（抜粋）：
a)アルカリ可溶性樹脂、b)酸の作用により該アルカリ可溶性樹脂を架橋可能な架橋剤、及びc)下記一般式(I)で表される、光により酸を発生する化合物を含むことを特徴とするネガ型感光性組成物。【化1】(式中、R1 及びR2 はそれぞれ水素原子またはアルキル基を表し、R3 、R4、R5 、R6 及びR7 はそれぞれ水素原子、アルキル基またはアルコキシ基を表し、R8 及びR9 はそれぞれ水素原子またはハロアルキル基を表す。但し、R8およびR9 が同時に水素原子であることはなく、R4 およびR6 が同時にアルコキシ基であることはない。)
IPC (4件)：
G03F 7/038
, G03F 7/004 503
, G03F 7/029
, H01L 21/027
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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