特許
J-GLOBAL ID：200903092026332629
静電マイクロアクチュエータの駆動方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-183646
公開番号（公開出願番号）：特開2001-009797
出願日： 1999年06月29日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
要約：
【要約】【課題】 垂直方向への大きな駆動が可能であるとともに駆動力の発生点が駆動中において変化しない、新たな静電マイクロアクチュエータの駆動方法を提供する。【解決手段】 基板1と、基板電極絶縁層2と、基板電極3と、駆動電極絶縁層5と、螺旋状の駆動電極8とがこの順に積層されてなる静電マイクロアクチュエータ20を使用する。そして、基板電極3と駆動電極8との間に所定の電圧を印加することにより駆動電極8を基板電極3に吸着させる。さらに、基板電極3と駆動電極8との間に印加された前記所定の電圧を除去することにより駆動電極8を基板電極3から開放させて、静電マイクロアクチュエータ20を駆動する
請求項（抜粋）：
静電マイクロアクチュエータの駆動方法であって、前記静電マイクロアクチュエータは、基板と、基板電極絶縁層と、基板電極と、駆動電極絶縁層と、螺旋状の駆動電極とがこの順に積層されてなり、前記基板電極と前記駆動電極との間に所定の電圧を印加することにより前記駆動電極を前記基板電極に吸着させ、前記基板電極と前記駆動電極との間の前記印加した所定の電圧を除去することにより前記駆動電極を前記基板電極から開放させて、前記静電マイクロアクチュエータを駆動するようにしたことを特徴とする、静電マイクロアクチュエータの駆動方法。
IPC (3件)：
B81C 1/00
, B66F 1/00
, B81B 3/00
B81C 1/00
, B66F 1/00
, B81B 3/00
