搬送システム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-373614
公開番号（公開出願番号）：特開2001-189366
出願日： 1999年12月28日
公開日（公表日）： 2001年07月10日
要約：

【要約】【課題】工程内搬送における枚葉搬送を効率的に行うことができるようにした搬送システムを提供すること。【解決手段】工程間搬送をカセット搬送によって、工程内搬送を枚葉搬送によって、それぞれ搬送を行うようにした半導体又は液晶の製造ラインの搬送システムにおいて、工程内搬送路8の走行路8A、8B、8Cを、上下方向に複数段にそれぞれ独立して構成し、各走行路8A、8B、8Cに、基板6を載置する載置台73を備えた枚葉搬送車7A、7B、7Cを配置するとともに、同一位置で、各枚葉搬送車7A、7B、7Cとの間で同時に基板6の受け渡しを行うことができるロードポート9を、工程内搬送路8に沿って配設する。

請求項（抜粋）：

工程間搬送をカセット搬送によって、工程内搬送を枚葉搬送によって、それぞれ搬送を行うようにした半導体又は液晶の製造ラインの搬送システムにおいて、工程内搬送路の走行路を、上下方向に複数段にそれぞれ独立して構成し、各走行路に、基板を載置する載置台を備えた枚葉搬送車を配置するとともに、同一位置で、各枚葉搬送車との間で同時に基板の受け渡しを行うことができるロードポートを、工程内搬送路に沿って配設したことを特徴とする搬送システム。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B65G 49/06

FI (2件)：

H01L 21/68 A , B65G 49/06 Z

Fターム (17件)：

5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031DA17 , 5F031FA01 , 5F031FA02 , 5F031FA03 , 5F031FA07 , 5F031FA14 , 5F031FA15 , 5F031GA03 , 5F031GA47 , 5F031GA49 , 5F031GA50 , 5F031GA58 , 5F031PA02 , 5F031PA18 , 5F031PA30

引用特許：

出願人引用 (6件)

ウエハの保持装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-314427 出願人：ソニー株式会社
真空内基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-259003 出願人：国際電気株式会社
基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-256565 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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審査官引用 (6件)

ウエハの保持装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-314427 出願人：ソニー株式会社
真空内基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-259003 出願人：国際電気株式会社
生産ライン
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-323353 出願人：株式会社日立製作所, 日立北海セミコンダクタ株式会社

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