特許
J-GLOBAL ID：200903092073795386
テープ貼付装置、テープ貼付システムおよびテープ貼付方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松阪 正弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-122383
公開番号（公開出願番号）：特開2008-277212
出願日： 2007年05月07日
公開日（公表日）： 2008年11月13日
要約：
【課題】幅方向のいずれの側に塗布領域が存在する非塗布領域であっても、一方の側面である特定側面を非塗布領域と塗布領域との間の境界に一致させつつマスキングテープを非塗布領域に貼付する。【解決手段】テープ貼付装置は、マスキングテープ1を基板9上に貼付する貼付機構(すなわち、走査機構およびテープ貼付ヘッド)、テープ貼付ヘッドを走査方向に垂直な方向に移動する移動機構、並びに、基板9を180°回転する回転機構を備える。これにより、幅方向のいずれの側に塗布領域91が存在する場合であっても、一方の側面のみが剥離時の残渣を防止するように断面形状が調えられた特定側面103aである低コストのマスキングテープ1を、非塗布領域92と塗布領域91との境界920に特定側面103a側の下面エッジ124を一致させつつ非塗布領域92に貼付することができる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
基板の主面上の非塗布領域に前記非塗布領域に対する流動性材料の付着を防止するマスキングテープを貼付するテープ貼付装置であって、
基板を保持する基板保持部と、
マスキングテープの一方の側面である特定側面の前記基板側のエッジを、前記基板の主面上の非塗布領域と塗布領域との境界に一致させつつ、前記マスキングテープを前記非塗布領域に貼付する貼付機構と、
前記基板を前記主面に垂直な軸を中心に前記貼付機構に対して相対的に180°回転する回転機構と、
前記非塗布領域の前記境界に垂直な方向に前記基板を前記貼付機構に対して相対的に移動する移動機構と、
を備えることを特徴とするテープ貼付装置。
IPC (3件)：
H05B 33/10
, H01L 51/50
, B05D 1/32
H05B33/10
, H05B33/14 A
, B05D1/32 B
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC45
, 3K107GG31
, 4D075AD05
, 4D075CA47
, 4D075DA06
, 4D075DC24
, 4D075EA05
出願人引用 (3件)
-
薄膜形成装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2002-268234
出願人：大日本スクリーン製造株式会社
-
塗布装置および塗布方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2002-251239
出願人：大日本スクリーン製造株式会社
-
有機EL素子の製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2005-028513
出願人：大日本スクリーン製造株式会社
審査官引用 (1件)
-
塗布システム
公報種別：公開公報
出願番号：特願2005-280521
出願人：大日本スクリーン製造株式会社
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