特許
J-GLOBAL ID：200903007808893967

塗布システム

発明者：
川越 理史

川越 理史 について

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増市 幹雄

増市 幹雄 について

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吉田 順一

吉田 順一 について

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松家 毅

松家 毅 について

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高村 幸宏

高村 幸宏 について

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上野 博之

上野 博之 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 松阪 正弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-280521
公開番号（公開出願番号）：特開2007-095378
出願日： 2005年09月27日
公開日（公表日）： 2007年04月12日
要約：
【課題】塗布領域のみに塗布液が塗布された基板を容易に得る。【解決手段】塗布システム1は、処理ユニット群2、インデクサ3およびマルチ搬送ロボット4を備え、処理ユニット群2は、有機ELテープユニット26、有機EL塗布ユニット24、および、有機ELベークユニット25を含む。塗布システム1では、処理ユニット群2において、有機ELテープユニット26により基板の非塗布領域に第2マスキングテープ84が貼付され、有機EL塗布ユニット24により非塗布領域を含む基板上の領域に有機EL液が塗布される。そして、有機ELテープユニット26により第2マスキングテープ84が剥離されることにより、塗布領域のみに有機EL液が塗布された基板を容易に得ることができる。その後、有機ELベークユニット25により基板に対する加熱処理が行われることにより、有機EL液が基板上に定着して有機EL層が形成される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板に流動性材料を塗布する塗布システムであって、 処理ユニット群と、 前記処理ユニット群による処理前の未処理基板および前記処理ユニット群による処理後の処理済基板が載置されるインデクサと、 前記インデクサおよび前記処理ユニット群に対して基板の受け渡しを行い、前記インデクサから前記処理ユニット群の少なくとも一部を経由して前記インデクサへと至る所定の搬送経路に沿って前記基板を搬送する基板搬送機構と、 を備え、 前記処理ユニット群が、 非塗布領域にマスキングテープが貼付された基板に向けて流動性材料をノズルから連続的に吐出しつつ前記ノズルを前記基板に対して相対的に移動し、前記マスキングテープを含む領域に前記流動性材料を塗布する塗布ユニットと、 前記流動性材料が塗布された前記基板から前記マスキングテープを剥離するテープ剥離ユニットと、 を含むことを特徴とする塗布システム。
IPC (3件)：
H05B 33/10 ,  B05C 9/00 ,  H01L 51/50
FI (3件)：
H05B33/10 ,  B05C9/00 ,  H05B33/14 A
Fターム (18件)：
3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AA16 ,  4F041AB01 ,  4F041BA13 ,  4F041BA51 ,  4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042AA27 ,  4F042AB00 ,  4F042BA08 ,  4F042DG01 ,  4F042DG07 ,  4F042DG12 ,  4F042ED03
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (4件)
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