特許
J-GLOBAL ID：200903092233584123

基板処理装置

発明者：
小田 裕史

小田 裕史 について

, 
川根 旬平

川根 旬平 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (3件)： 小谷 悦司 ,  伊藤 孝夫 ,  樋口 次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-009175
公開番号（公開出願番号）：特開2006-196834
出願日： 2005年01月17日
公開日（公表日）： 2006年07月27日
要約：
【課題】 設置に必要な床面積が少なく、簡単な機構で基板を傾斜姿勢で搬送することができ、設備コストの低減化に貢献する基板処理装置を提供する。【解決手段】 第1処理部20で処理が施された後の基板を、搬送方向転換部40が搬送方向を転換し、その傾斜搬送部49によって、第1搬送路41の勾配で傾斜姿勢とされた状態を略維持したまま第2搬送路43まで搬送する。この傾斜搬送部49によって搬送される基板Bの主面に対しては液供給部が処理液を供給する。第2搬送路43及び第2処理部30では、傾斜搬送部49によって傾斜姿勢が保たれている基板を、そのままの姿勢で第1処理部20とは逆方向に搬送させて処理する。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
予め定められた方向に基板を搬送させつつ当該基板を処理する第1処理部と、 前記第1処理部と略平行に配置され、前記予め定められた方向とは逆方向に基板を搬送させつつ当該基板を処理する第2処理部と、 前記第1処理部の基板搬送終了端と前記第2処理部の基板搬送開始端との間で基板を搬送しながら、前記第1処理部による基板搬送方向を前記第2処理部による基板搬送方向に転換する搬送方向転換部とを備えた基板処理装置において、 前記搬送方向転換部は、前記第1処理部の基板搬送終了端から基板を受け取り、基板搬送方向に向けて勾配を有する第1搬送路と、 前記第1搬送路が有する前記勾配によって傾斜された基板の姿勢を略維持した状態で基板を搬送する傾斜搬送部と、 前記傾斜搬送部によって搬送される基板の主面に処理液を供給する液供給手段と を備える基板処理装置。
IPC (5件)：
H01L 21/677 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
H01L21/68 A ,  B65G49/06 Z ,  B65G49/07 B ,  H01L21/304 648A ,  H01L21/30 562
Fターム (22件)：
5C012AA09 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA13 ,  5F031FA18 ,  5F031FA21 ,  5F031LA15 ,  5F031MA03 ,  5F031MA09 ,  5F031MA23 ,  5F031MA24 ,  5F031PA02 ,  5F031PA04 ,  5F031PA18 ,  5F031PA30 ,  5F046CD01 ,  5F046CD05 ,  5F046CD06
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 基板処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-197621   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
  • 基板姿勢変更装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-039742   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
審査官引用 (2件)
  • 基板処理設備
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-041668   出願人：住友精密工業株式会社
  • 基板洗浄装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-095820   出願人：カシオ計算機株式会社

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