特許

J-GLOBAL ID：200903092243623089

位相調整方法とその装置及び素子分割組み合せ方法とその装置及びプラズマ加工装置

発明者： 吉田 義廣 ,  鈴木 正樹
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-354467
公開番号（公開出願番号）：特開2003-273602
出願日： 2002年12月06日
公開日（公表日）： 2003年09月26日
要約：

【要約】【課題】 周囲の温度変化に関係なく、常に位相変化量を一定に維持することができるとともに、非常に安価で省エネに対しても優れた位相調整方法及び位相調整装置及びプラズマ加工装置を提供する。【解決手段】 (1/2n)・λ〜(2n-1/2n)・λの長さのn本の遅延線をBNCオス・メスコネクタを介してシリーズ接続し、1周期の2nの分割を可能にし、位相の変化をケーブル内を進む電波の遅延を利用し、異なった長さのケーブルを組み合わせることにより位相変化量を可変して、供給入力波に対する位相の変化量の任意設定を可能にする。

請求項（抜粋）：

電波の入力波に対して、所望の位相差を有する出力波を生成する位相調整方法であって、ケーブル中の電波の波長を基準として、前記所望の位相差に相当するケーブルの長さを決定し、その長さ分のケーブルに電波を伝播させて、入力波に対して所望の位相差を有する出力波を生成する位相調整方法。

IPC (4件)：

H01P 1/18 ,  C23C 16/505 ,  H01L 21/3065 ,  H05H 1/46

FI (5件)：

H01P 1/18 ,  C23C 16/505 ,  H05H 1/46 L ,  H05H 1/46 R ,  H01L 21/302 101 C

Fターム (13件)：

4K030FA03 ,  4K030JA19 ,  4K030KA30 ,  4K030KA32 ,  4K030KA41 ,  5F004BA20 ,  5F004BB11 ,  5F004BB32 ,  5F004BD04 ,  5F004CA03 ,  5F004CA08 ,  5J012GA00 ,  5J012GA13

引用特許：

出願人引用 (1件)

• LEP電源位相微調機構
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-198000   出願人：日新電機株式会社, 松下電器産業株式会社

審査官引用 (4件)

• 可変遅延器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-328358   出願人：アンリツ株式会社
• プラズマ処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-279017   出願人：日本真空技術株式会社
• 遅延回路、およびフィードフォワード増幅器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-060834   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開平1-162001