特許
J-GLOBAL ID：200903092285370598
電気化学蒸着装置及びそれを用いた固体電解質型燃料電池の固体電解質成膜方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
三好 秀和 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-122522
公開番号（公開出願番号）：特開平10-312816
出願日： 1997年05月13日
公開日（公表日）： 1998年11月24日
要約：
【要約】【課題】 電気化学蒸着する際に、原料微粉末の取り扱いをしやすくする。【解決手段】 この電気化学蒸着装置は、混合液貯溜部51,52 に蒸着原料粉末を希釈剤と混合した混合液を貯溜しておき、蒸着に際しては、気化部56においてまず混合液貯溜部から導出する混合液から希釈剤を高温雰囲気で蒸発分解させると共に、蒸着原料粉末を気化させ、不活性ガスと混合し、この原料蒸気を気化部56から電気化学蒸着室55に導入して電気化学蒸着を実行する。このため、電気化学蒸着を実施する前の準備段階では蒸着原料粉末を希釈剤と混合した混合液状態で取り扱うことができ、吸湿しないように注意する必要が無くなって取り扱いが容易となり、技術者の負担が軽減し、また供給原料の定量が正確に行えるようになる。
請求項（抜粋）：
蒸着原料粉末を希釈剤と混合した混合液を貯溜する混合液貯溜部と、前記混合液貯溜部から導出する前記混合液から前記希釈剤を高温雰囲気で蒸発分解させると共に、前記蒸着原料粉末を気化させ、不活性ガスと混合する気化部と、前記気化部から前記蒸着原料蒸気を導入して電気化学蒸着を実行する電気化学蒸着室とを備えて成る電気化学蒸着装置。
IPC (4件)：
H01M 8/02
, C23C 16/08
, C23C 16/56
, H01M 8/12
H01M 8/02 K
, C23C 16/08
, C23C 16/56
, H01M 8/12
