マルチビーム露光装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-257350
公開番号（公開出願番号）：特開平11-095140
出願日： 1997年09月22日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：

【要約】【課題】複数のビームを走査する露光装置において、各ビーム相互のずれを低減して画像を正確に重ね合わせ、色ずれまたは線間間隔の変動の生じない露光装置を提供する【解決手段】この発明の露光装置1は、m=3で規定される三角形の各頂点位置に配置された発光点を有する光源3と、光源からの光ビームLの像面での副走査方向ビーム間隔を一括して調整する機構11とを含む偏向前光学系5と、回転可能に形成された反射面を有し、反射面を所定速度で回転させることにより、偏向前光学系からの光ビームを所定方向に偏向する偏向装置7と、偏向装置により偏向されたm本の光ビームを連続して像面に結像する偏向後光学系9と、を有することから、3本のレーザの副走査方向の間隔を概ね等しくできる。

請求項（抜粋）：

m(mは、2以上の整数)個の発光点を有するn(nは、2以上の整数)群であって、像面で副走査方向にそれぞれnドットの間隔の複数の光ビームを提供可能な光源と、この光源により提供されるm×n本の光ビームの像面での副走査方向ビーム間隔を上記m本のビーム毎に一括して調整するn組の機構と、少なくともn-1組の、上記m本毎の光ビームの像面でのビーム位置を一括して調整する機構と、n-1個設けられ、上記m本×n群の光ビームを、概ね同一の光路を通過する1つの光束にまとめる所定の割合を反射し、所定の割合を透過する第1の合成用ミラーと、を含む第1の光学手段と、回転可能に形成された反射面を有し、上記反射面を所定速度で回転させることにより、前記第1の光学手段からの光ビームを所定方向に偏向する偏向手段と、この偏向手段により偏向された上記m×n本の光ビームを連続して像面に結像する第2の光学手段と、を有するマルチビーム露光装置。

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭64-076021
特開昭59-015216
マルチビームレーザ記録装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-215086 出願人：富士ゼロックス株式会社

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