特許
J-GLOBAL ID:200903092356520618

ニッケル系薄膜用エッチング液

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 吉田 勝広 ,  近藤 利英子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-217923
公開番号(公開出願番号):特開2004-059973
出願日: 2002年07月26日
公開日(公表日): 2004年02月26日
要約:
【課題】従来のエッチング液よりも、ニッケル系薄膜の積層薄膜に対して、そのエッチング角度を60〜90度にエッチングすることができ、ニッケル系積層薄膜を構成する各々の金属薄膜およびその酸化物薄膜に対してエッチング速度のバランスがよく、エッチング液の液疲労が少ないエッチング液およびエッチング方法の提供。【解決手段】硝酸第2セリウムアンモニウム8〜12重量%と、過塩素酸5〜10重量%とを水性媒体中に含有することを特徴とする、ガラス基板上に形成されたニッケル系薄膜用エッチング液。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
硝酸第2セリウムアンモニウム8〜12重量%と、過塩素酸5〜10重量%とを水性媒体中に含有することを特徴とする、ガラス基板上に形成されたニッケル系薄膜用エッチング液。
IPC (2件):
C23F1/28 ,  H01L21/308
FI (2件):
C23F1/28 ,  H01L21/308 F
Fターム (15件):
4K057WA10 ,  4K057WA11 ,  4K057WA20 ,  4K057WB03 ,  4K057WB11 ,  4K057WE01 ,  4K057WE02 ,  4K057WE11 ,  4K057WG01 ,  4K057WG02 ,  4K057WG03 ,  4K057WN01 ,  5F043AA26 ,  5F043BB18 ,  5F043GG10
引用特許:
審査官引用 (5件)
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