特許
J-GLOBAL ID:200903092439133063
電子写真感光体の製造方法及び電子写真感光体
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
金田 暢之 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-302000
公開番号(公開出願番号):特開2003-107766
出願日: 2001年09月28日
公開日(公表日): 2003年04月09日
要約:
【要約】【課題】 導電性基体上に少なくともカーホ ゙ン原子及び周期律表第13族元素又は第15族元素を含むシリコン原子を母体とする非単結晶シリコン膜からなる第一の表面層及び、カーホ ゙ン原子を含むシリコン原子を母体とする非単結晶シリコン膜からなる第二の表面層を形成した電子写真感光体において、帯電能、感度の向上及び特性むらの低減を高次元で両立するとともに強露光画像流れ、融着および感光体表面に生じる微小なクラックを低減して画像品質を飛躍的に向上させる。【解決手段】 前記第一の表面層は該層内に含有するカーホ ゙ン原子の増加に伴って光学的ハ ゙ント ゙キ ゙ャッフ ゚が増加していく関係を満たした領域で形成され、前記第二の表面層は該層内に含有するカーホ ゙ン原子の増加に伴って光学的ハ ゙ント ゙キ ゙ャッフ ゚が減少していく関係を満たした領域で形成されたものであることを特徴とする電子写真感光体。
請求項(抜粋):
減圧可能な反応容器内に導電性基体を設置し、高周波電極に供給した高周波電力によってプラズマを生起させ、導電性基体上に少なくともカーボン原子及び周期律表第13族元素又は第15族元素を含むシリコン原子を母体とする非単結晶シリコン膜からなる第一の表面層及びカーボン原子を含むシリコン原子を母体とする非単結晶シリコン膜からなる第二の表面層を順次積層させる電子写真感光体の製造方法において、膜内に含有するカーボン原子の増加に伴って光学的バンドギャップが増加していく関係を満たした領域で該第一の表面層を形成し、膜内に含有するカーボン原子の増加に伴って光学的バンドギャップが減少していく関係を満たした領域で該第二の表面層を形成することを特徴とする電子写真感光体の製造方法。
IPC (4件):
G03G 5/08 303
, G03G 5/08 306
, G03G 5/08 360
, C23C 16/24
FI (4件):
G03G 5/08 303
, G03G 5/08 306
, G03G 5/08 360
, C23C 16/24
Fターム (19件):
2H068DA05
, 2H068DA08
, 2H068DA09
, 2H068DA14
, 2H068DA15
, 2H068DA17
, 2H068DA19
, 2H068DA23
, 2H068EA25
, 2H068EA36
, 4K030BA29
, 4K030BB05
, 4K030BB13
, 4K030CA02
, 4K030CA14
, 4K030FA03
, 4K030JA16
, 4K030JA18
, 4K030LA17
引用特許:
審査官引用 (6件)
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特開昭61-143768
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特開昭61-133948
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電子写真感光体および電子写真方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-346972
出願人:富士ゼロックス株式会社
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