特許
J-GLOBAL ID：200903092508886338
金属モールド及びその製造方法並びに陽極酸化ポーラスアルミナとその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
伴 俊光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-079753
公開番号（公開出願番号）：特開2004-285422
出願日： 2003年03月24日
公開日（公表日）： 2004年10月14日
要約：
【課題】60nm以下の微細周期で細孔が高度に配列した陽極酸化ポーラスアルミナを得るためのモールドの製造方法,及びこのモールドを用いた陽極酸化アルミナ膜の作製方法を提供する。【解決手段】60nm以下の微細な凹凸が形成されたレジストパターン2に電気めっきの導通層あるいは無電解めっきの触媒層3を付与し、その上にモールド形成用金属4を析出させた後、レジスト材を剥離して金属モールド5を得る。これをアルミニウム6にプレスし、凹凸パターンをアルミニウムの上に転写する。この微細凹凸パターンの周期構造をもつアルミニウムを陽極酸化することにより、規則的な直行細孔7を有する陽極酸化ポーラスアルミナ8を得る。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
レジスト材に形成された凹凸パターンを転写することにより作製された周期60nm以下の凹凸パターンを有する金属モールド。
IPC (3件)：
C25D1/00
, C25D11/04
, C25D11/16
C25D1/00 381
, C25D11/04 302
, C25D11/16
