導電性酸化スズ膜のパターニング方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-393286
公開番号（公開出願番号）：特開2002-270051
出願日： 2001年12月26日
公開日（公表日）： 2002年09月20日
要約：

【要約】【課題】透明な表示電極を必要とするタッチパネル、プラズマディスプレイパネル、液晶ディスプレイ、太陽電池などに用いられる透明導電性酸化スズ膜のパターニング方法に関するものであり、レジスト膜を使用することなく、簡便にかつ効率よく、導電性酸化スズのパターン膜を得る方法を提供すること。【解決手段】有機溶媒に可溶なスズ化合物とドーパント化合物を該有機溶媒に溶解した溶液を用い、該乾燥膜が現像液に対する溶解性を保持する範囲内で乾燥して、紫外領域を含む光により露光することで部分的に不溶にし、現像液で未露光部をエッチングすることを特徴とする導電性酸化スズ膜のパターニング方法。

請求項（抜粋）：

有機溶媒に可溶なスズ化合物とドーパント化合物を該有機溶媒に溶解した溶液を用い、該乾燥膜が現像液に対する溶解性を保持する範囲内で乾燥して、紫外領域を含む光により露光することで部分的に不溶にし、現像液で未露光部をエッチングすることを特徴とする導電性酸化スズ膜のパターニング方法。

IPC (2件)：

H01B 13/00 503 , G03F 7/004 511

FI (2件)：

H01B 13/00 503 D , G03F 7/004 511

Fターム (5件)：

2H025AA19 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025FA17 , 5G323CA01

引用特許：

審査官引用 (14件)

導電性酸化スズ膜のパターニング方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-270999 出願人：日産化学工業株式会社
特開平2-267812
透明導電膜の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-066029 出願人：三菱マテリアル株式会社

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