特許
J-GLOBAL ID：200903092570810992

駆動装置および露光装置

発明者：
井上 敬司

井上 敬司 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-090989
公開番号（公開出願番号）：特開2005-273844
出願日： 2004年03月26日
公開日（公表日）： 2005年10月06日
要約：
【課題】 スループットが低下せず、大型にならない駆動装置を提供する。【解決手段】 駆動源であるモータ103の動力を、回転軸10を介して被駆動体である機構部106に伝達し、回転軸10を支持する支持機構が、粘性を可変とした機能性流体と、この機能性流体の粘性を制御する粘性制御手段とを有する。該粘性制御手段は、モータ103の駆動時には前記機能性流体の粘性が低くなるように制御し、モータ103の停止時には該機能性流体の粘性が高くなるように制御する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
駆動源の動力を駆動軸を介して被駆動体に伝達する駆動装置であって、 前記駆動軸を支持する支持機構が、粘性を可変とした機能性流体と、前記機能性流体の粘性を制御する粘性制御手段とを有することを特徴とする駆動装置。
IPC (2件)：
F16D63/00 ,  H01L21/027
FI (2件)：
F16D63/00 P ,  H01L21/30 515Z
Fターム (9件)：
3J058AB27 ,  3J058BA67 ,  3J058CC13 ,  3J058CC14 ,  3J058EA29 ,  3J058FA50 ,  5F046FA10 ,  5F046FB12 ,  5F046FB20
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 均一な電気粘性流体
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-220064   出願人：旭化成工業株式会社
  • 磁気粘性流体
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-089457   出願人：ゼネラル・モーターズ・コーポレーション
審査官引用 (12件)
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