特許

J-GLOBAL ID：200903092642737780

状態量検知センサ

発明者： 佐々木 秀樹 ,  橋本 雅人 ,  横山 敦子 ,  千田 英美 ,  杉本 雅裕 ,  後藤 安則
出願人/特許権者： トヨタ自動車株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-053512
公開番号（公開出願番号）：特開平10-256563
出願日： 1997年03月07日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、片持ち梁状の構造層を有する状態量検知センサに関し、製造時の乾燥工程において構造層が基板に張り付くのを防止することを目的とする。【解決手段】 基板12の表面には片持ち梁14が形成される。基板12の片持ち梁14に対向する部位には突起16が形成される。製造時の乾燥工程において、片持ち梁14が基板12に向けて撓んだ場合、片持ち梁14は突起16の先端部と接触する。このため、片持ち梁14と基板12との間に作用する表面間力は小さく抑制され、片持ち梁14が基板12に張り付くことが防止される。また、片持ち梁14が基板12に張り付いたとしても剥がれ易い。

請求項（抜粋）：

基板に犠牲層を積層し、その上に構造層を積層し、前記犠牲層を除去してなる状態量検知センサにおいて、前記基板の表面に突起を形成すると共に、前記犠牲層及び前記構造層を前記突起を含む領域に積層したことを特徴とする状態量検知センサ。

IPC (5件)：

H01L 29/84 ,  G01L 9/04 101 ,  G01P 15/08 ,  G01P 15/12 ,  H01L 49/00

FI (5件)：

H01L 29/84 A ,  G01L 9/04 101 ,  G01P 15/08 ,  G01P 15/12 ,  H01L 49/00 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 金属の陽極処理膜による微小機械装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-271936   出願人：佐藤洋一
• 半導体加速度センサのストッパーの形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-160356   出願人：セイコー電子工業株式会社
• 微小機械およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-071925   出願人：日産自動車株式会社