特許
J-GLOBAL ID:200903004377922132
積層型圧電体素子
発明者:
,
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
高橋 祥泰
, 岩倉 民芳
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-318827
公開番号(公開出願番号):特開2005-086110
出願日: 2003年09月10日
公開日(公表日): 2005年03月31日
要約:
【課題】内部電極層からのマイグレーションが生じ難い、積層型圧電体素子を提供しようとすること。【解決手段】圧電層11と、該圧電層11に電圧を印加する内部電極層12とを交互に積層してなる圧電スタック10と、該圧電スタック10の側面101、103で、一層おきに上記内部電極層12と電気的に導通するよう設けた側面電極15と、該側面電極15の外方から、上記圧電スタック10の側面101〜104を覆う絶縁被覆材16とを有する。上記圧電スタック10の側面101、103は上記内部電極層12が露出した端面120を有し、上記圧電スタック10と上記絶縁被覆材16との間に、少なくとも上記端面120を覆う薄膜からなる絶縁バリア膜14を有する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
圧電層と、該圧電層に電圧を印加する内部電極層とを交互に積層してなる圧電スタックと、該圧電スタックの側面で、一層おきに上記内部電極層と電気的に導通するよう設けた側面電極と、該側面電極の外方から、上記圧電スタックの側面を覆う絶縁被覆材とを有する積層型圧電体素子であって、
上記圧電スタックの側面に上記内部電極層の端面が露出し、
上記圧電スタックと上記絶縁被覆材との間に、少なくとも上記端面を覆う薄膜からなる絶縁バリア膜を有することを特徴とする積層型圧電体素子。
IPC (6件):
H01L41/083
, F02M51/00
, F02M51/06
, H01L41/187
, H01L41/22
, H02N2/00
FI (6件):
H01L41/08 S
, F02M51/00 E
, F02M51/06 N
, H02N2/00 B
, H01L41/18 101D
, H01L41/22 Z
Fターム (4件):
3G066BA46
, 3G066CC01
, 3G066CD04
, 3G066CE27
引用特許:
出願人引用 (3件)
審査官引用 (10件)
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