インピーダンス整合器

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-111791
公開番号（公開出願番号）：特開2003-309000
出願日： 2002年04月15日
公開日（公表日）： 2003年10月31日
要約：

【要約】【課題】複数負荷に対して出力電力が同振幅かつ同位相となる電力供給が可能なインピーダンス整合器及びプラズマ成膜装置を提供することを目的とする。【解決手段】筐体50に取り付けられた入力端子10と、複数の出力端子(ここでは出力端子20a及び20b)と、キャパシタ41及び42とインダクタ43とからなる整合回路40と、インピーダンス調整用伝送線21とからなり、整合回路40からの出力はインピーダンス調整用伝送線21の分岐位置をスライダ30にて調整することにより、出力端子20a及び20bからの出力電圧及び出力電流が同振幅かつ同位相となるようにする。

請求項（抜粋）：