特許
J-GLOBAL ID：200903092845129824
感光性レジスト上に湾曲線引を構成する方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
加藤 朝道 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-062433
公開番号（公開出願番号）：特開2001-290281
出願日： 2001年03月06日
公開日（公表日）： 2001年10月19日
要約：
【要約】【課題】 僅かな演算作業で均一な線幅の湾曲線引を構成できるよう、公知の電子線リソグラフィー法を改良する。【解決手段】 冒頭に述べた種類の方法に関して、本発明にもとづき、各単位行程後に、複数の先行の単位行程から求めた線引推移に依存して設定エネルギを定める。他方、感光性レジストを被覆した基板(4)上に線引を構成する装置に関して、Z座標に配列された電子線(6)の光源(5)と、単位行程においてXY平面内を摺動でき基板(4)と電子線(6)との間に相対運動を形成する送り装置(3)と、単位行程についてそれぞれ設定すべきエネルギを複数の先行の単位行程から求めた線引推移に依存して求める演算回路とを含み、演算回路を光源(5)のトリガ回路に接続した形式の装置を使用する。
請求項（抜粋）：
感光性レジストを被覆した基板(4)上に電子線(6)によって線引を構成する方法であって、被覆された基板表面にZ座標の方向へ電子線(6)を向け、基板(4)をカルテシアン座標系のX座標および/またはY座標の方向へ段階的に摺動させ、この間、所定エネルギの電子線(6)をレジストに作用させる形式のものにおいて、各単位行程後、複数の先行の単位行程から求めた線引推移に依存して、設定すべきエネルギを定めることを特徴とする方法。
IPC (5件)：
G03F 7/20 504
, G03F 7/20 501
, G02B 5/18
, G03F 9/00
, H01J 37/304
G03F 7/20 504
, G03F 7/20 501
, G02B 5/18
, G03F 9/00 A
, H01J 37/304
