特許
J-GLOBAL ID：200903092894621238

光ファイバープローブおよび微小開口付カンチレバーと、それらの開口形成方法

発明者：
伊與木 誠人

伊與木 誠人 について


出願人/特許権者：
セイコーインスツルメンツ株式会社

セイコーインスツルメンツ株式会社 について


代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-016806
公開番号（公開出願番号）：特開2001-208671
出願日： 2000年01月26日
公開日（公表日）： 2001年08月03日
要約：
【要約】【課題】 走査型近接場顕微鏡用の光ファイバープローブおよび微小開口付カンチレバーの先端を塑性変形または破壊して開口を形成する開口形成方法において、再現性良く所望の開口径が得られ、先端を塑性変形または破壊するための力の微調が可能な開口形成方法を提供する。【解決手段】 光ファイバープローブや微小開口付カンチレバーの探針先端とサンプル間に働く原子間力やシアフォース、またはトンネル電流、エバネッセント光を利用してプローブ先端とサンプルを近接または接触させ、これらいずれかの物理量をパラメータとして探針先端に掛かる力を制御し、探針先端部をサンプル表面から受ける力により塑性変形または破壊して先端部に所望の径の開口を形成する。
請求項（抜粋）：
光ファイバーの先端を先鋭化する工程と、先端部を光ファイバーの軸方向に対して曲げる工程と、先端部付近を金属膜で覆う工程と、先端部をサンプル表面から受ける力により塑性変形または破壊して先端部に開口を形成する工程とを少なくとも実施する光ファイバープローブの開口形成方法において、先端部を通る光ファイバープローブの軸がサンプル面に対して垂直または垂直軸から±45°以内になるように光ファイバープローブを配置し、光ファイバープローブの変位量をモニターしながら、サンプルに対してプローブ先端とサンプル間に原子間力が作用する距離以下の領域まで光ファイバープローブを近接または接触させ、光ファイバープローブの撓み量をパラメータとして、形成される開口の大きさを制御することを特徴とする光ファイバープローブの開口形成方法。
IPC (2件)：
G01N 13/14 ,  G12B 21/06
FI (2件)：
G01N 13/14 B ,  G12B 1/00 601 C
引用特許：
審査官引用 (4件)
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