複合構造物作製装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-310197
公開番号（公開出願番号）：特開2005-076104
出願日： 2003年09月02日
公開日（公表日）： 2005年03月24日
要約：

【課題】エアロゾルデポジション法において、構造物作製時に基板や基板上の構造物に付着した凝集粉により、欠陥が生じるのを防止する。【解決手段】本発明では、脆性材料の微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを基材に向けてノズルより噴射して、前記エアロゾルを前記基板表面に衝突させ、この衝突の衝撃によって前記微粒子を破砕・変形させて接合させ、前記微粒子の構成材料からなる構造物を前記基材上に形成させる複合構造物作製装置において、構造物形成に寄与しなかった前記基板および基板上の構造物に付着した凝集粉を除去するために、エアーブロー機能を備えたことを特徴とする。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

脆性材料の微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを基材に向けてノズルより噴射して、前記エアロゾルを前記基板表面に衝突させ、この衝突の衝撃によって前記微粒子を破砕・変形させて接合させ、前記微粒子の構成材料からなる構造物を前記基材上に形成させる複合構造物作製装置において、前記基板および基板上の構造物に付着し、かつ構造物形成に寄与しなかった凝集粉を除去するための除去手段を備えたことを特徴とする複合構造物作製装置。

IPC (5件)：

C23C24/04 , B02C19/06 , B05D1/12 , B05D7/24 , H01L21/203

FI (5件)：

C23C24/04 , B02C19/06 B , B05D1/12 , B05D7/24 301W , H01L21/203 Z

Fターム (33件)：

4D067CA03 , 4D067GA07 , 4D067GA20 , 4D075AA02 , 4D075AA71 , 4D075AA84 , 4D075BB03Y , 4D075BB14Y , 4D075BB20Y , 4D075BB56Y , 4D075CA47 , 4D075DA06 , 4D075EA02 , 4D075EB01 , 4D075EB05 , 4D075EB11 , 4D075EB31 , 4K044AA01 , 4K044AA11 , 4K044AA16 , 4K044AB02 , 4K044BA11 , 4K044BB11 , 4K044CA23 , 4K044CA29 , 4K044CA51 , 4K044CA53 , 4K044CA67 , 5F103AA10 , 5F103BB60 , 5F103DD30 , 5F103GG02 , 5F103NN10

引用特許：

出願人引用 (1件)

超微粒子材料平坦化成膜方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-150341 出願人：工業技術院長

審査官引用 (7件)

特開平2-071872
管継手の樹脂被覆装置及び樹脂被覆方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-147437 出願人：松下電工株式会社
超微粒子材料吹き付け成膜方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-205601 出願人：独立行政法人産業技術総合研究所, 明渡純, 東陶機器株式会社

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