特許
J-GLOBAL ID：200903092926457435

基板貼り合わせ方法及び装置

発明者：
荻本 眞一

荻本 眞一 について


出願人/特許権者：
芝浦メカトロニクス株式会社

芝浦メカトロニクス株式会社 について


代理人 (1件)： 塩川 修治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-055065
公開番号（公開出願番号）：特開2003-255311
出願日： 2002年02月28日
公開日（公表日）： 2003年09月10日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 上下の基板の貼り合わせ精度を向上させること。【解決手段】 基板貼り合わせ方法において、上ガラス基板1と下ガラス基板2を接着剤を介して貼り合わせた後、上ガラス基板1と下ガラス基板2の相対位置ずれ状態を検出し、検出結果に基づいて両ガラス基板1、2の相対位置ずれを修正する動作を選択実行するもの。このとき、最初の貼り合わせ時には上下基盤を減圧雰囲気中で静電力で保持し、貼り合わせ後の位置ずれ修正時には、雰囲気を所定の圧力まで上昇後、真空吸着力で保持することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
上基板と下基板を接着剤を介して貼り合わせた後、上基板と下基板の相対位置ずれ状態を検出し、検出結果に基づいて両基板の相対位置ずれを修正する動作を選択実行する基板貼り合わせ方法。
IPC (4件)：
G02F 1/1333 500 ,  C03C 27/06 101 ,  C03C 27/06 ,  G02F 1/13 101
FI (4件)：
G02F 1/1333 500 ,  C03C 27/06 101 C ,  C03C 27/06 101 E ,  G02F 1/13 101
Fターム (23件)：
2H088FA16 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  2H090JB02 ,  2H090JC02 ,  2H090JC12 ,  2H090LA05 ,  4G061AA09 ,  4G061AA13 ,  4G061BA03 ,  4G061CA02 ,  4G061CB05 ,  4G061CB16 ,  4G061CD02 ,  4G061CD12 ,  4G061CD24 ,  4G061CD25 ,  4G061DA23 ,  4G061DA32 ,  4G061DA46 ,  4G061DA61 ,  4G061DA67
引用特許：
審査官引用 (4件)
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