特許
J-GLOBAL ID：200903036241978036

液晶パネル用ガラス基板の貼り合わせ方法及びその装置

発明者：
中島 章五

中島 章五 について


出願人/特許権者：
新東工業株式会社

新東工業株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-335679
公開番号（公開出願番号）：特開2001-154202
出願日： 1999年11月26日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：
【要約】【課題】 2枚のガラス基板の位置合わせ及び重ね合わせの後の仮止めを省略できると共に重ね合わせたガラス基板の反りによるシ-ル剤の中への空気の噛み込みを無くすことができ、さらに高い剛性を必要としないと共に上下定盤表面の面精度を低くできる液晶パネル用ガラス基板の貼り合わせ方法及びその装置を提供することを目的とする。【解決手段】 上下ガラス基板を吸着保持して接触寸前まで近づけ位置合わせ機構を介して仮位置合わせをした後、上下ガラス基板を接触させると共に上下ガラス基板内を減圧して大気圧との差圧により両者を押し付けながら最終位置合わせをし、この最終位置合わせ状態を維持させると共に上下ガラス基板の間の減圧度を高めて上下ガラス基板の間に均一な間隙を形成させた後、紫外線照射をしてシ-ル剤を硬化させる液晶パネル用ガラス基板の貼り合わせ方法及びその装置。
請求項（抜粋）：
その上面に多数のスペ-サを散布すると共に該スペ-サの外周にシ-ル剤を環状に塗布しかつシ-ル剤の左右外側位置に位置合わせマ-クを設けた下ガラス基板と、その下面に前記位置合わせマ-クに対応する位置合わせマ-クを設けた上ガラス基板とを対向させて吸引により吸着保持させる工程と、前記上ガラス基板を前記シ-ル剤に接触する寸前まで近づけると共に各位置合わせマ-クの位置関係を検知しながら前記下ガラス基板の左右前後及び水平回転位置修正して上下ガラス基板の仮位置合わせをする工程と、前記上下ガラス基板の位置関係を維持させた状態で上ガラス基板を前記シ-ル剤に接触させた後上下ガラス基板の間を減圧して大気との差圧により上下ガラス基板の押し付けをしながら前記両位置合わせマ-クの検知により上下ガラス基板の最終位置合わせをする工程と、前記上下ガラス基板の吸着保持を解除した後前記上下ガラス基板の間の減圧による押し付け力を高めて前記スペ-サを均一に押し潰して上下ガラス基板に均一な間隙を形成させながら上ガラス基板を介して上下ガラス基板を吸着保持させた状態で紫外線照射位置に搬送する工程と、前記搬送された上下ガラス基板の下方から紫外線を照射して前記シ-ル剤を硬化させる工程と、から成ることを特徴とする液晶パネル用ガラス基板の貼り合わせ方法。
IPC (3件)：
G02F 1/1339 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500
FI (3件)：
G02F 1/1339 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500
Fターム (24件)：
2H088FA02 ,  2H088FA03 ,  2H088FA04 ,  2H088FA16 ,  2H088FA17 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  2H089NA09 ,  2H089NA38 ,  2H089NA44 ,  2H089NA45 ,  2H089NA49 ,  2H089NA60 ,  2H089PA19 ,  2H089QA04 ,  2H089QA12 ,  2H089QA14 ,  2H089TA01 ,  2H090JB02 ,  2H090JC12 ,  2H090JD14 ,  2H090LA02 ,  2H090LA03
引用特許：
審査官引用 (4件)
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