特許
J-GLOBAL ID：200903092938363738
ペースト塗布装置
出願人/特許権者：
代理人 (1件)： 稲元 富保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-065812
公開番号（公開出願番号）：特開平9-253550
出願日： 1996年03月22日
公開日（公表日）： 1997年09月30日
要約：
【要約】【課題】 ピエゾアクチュエータ方式のインクジェットヘッドの電極導通用或いは電極形成用のペーストを高精度に塗布できない。【解決手段】 ベース61上には高分解能、高精度位置決め可能なステージを用いているX軸ステージ63、Y軸ステージ64、θ軸ステージ65を順次配置して、θ軸ステージ65にてワークWを保持し、支柱62には高分解能、高精度位置決め可能なステージを用いているZ軸ステージ66を取付けてディスペンサーニードル69を装着するシリンジ68を保持した。
請求項（抜粋）：
ディスペンサーを用いてインクジェットヘッドの電極導通用或いは電極形成用のペーストを塗布するためのペースト塗布装置において、精密位置決め可能なステージを備え、このステージで前記ペーストを吐出するディスペンサーニードル及び塗布対象ワークをX軸、Y軸、Z軸及びθ軸の4軸で相対的に移動可能なことを特徴とするペースト塗布装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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