電子部品及び電子部品の欠陥修復方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：坂口博 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-185241
公開番号（公開出願番号）：特開2001-023982
出願日： 1999年06月30日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：

【要約】【課題】本発明の目的は、液晶ディスプレイを初めとする半導体装置や、その他の電子部品に欠陥が生じたとき、その欠陥箇所を修復して機能を回復させる修復方法を提供することにある。また、本発明の他の目的は、単層又は多層の薄膜をその薄膜の物理的特性を維持したまま他の箇所に転写することにある。【解決手段】基板24に複数の薄膜26,28が積層され且つ適宜所定のパターンに形成された電子部品18において、薄膜26に生じた欠陥部30を含む周囲を覆う1層又は複数層の薄膜26,28の一部が除去されて下層の薄膜が露出させられた凹陥部34に、欠陥を修復する転写膜(42)が嵌め込まれて電子部品18が構成されている。また、この電子部品の欠陥修復方法において、欠陥部30を含む周囲を覆う薄膜26,28を凹陥状に除去(34)し、下層の薄膜を露出させるステップと、その欠陥を修復する転写膜(42)を凹陥部34に嵌め込み、露出させられた薄膜26の上に被着させるステップとを含んで電子部品の欠陥修復方法を構成した。

請求項（抜粋）：

基板に複数の薄膜が積層され且つ適宜所定のパターンに形成された電子部品において、前記薄膜に生じた欠陥部を含む周囲を覆う1層又は複数層の薄膜の一部が除去されて下層の薄膜が露出させられた凹陥部に、欠陥を修復する転写膜が嵌め込まれている電子部品。

IPC (6件)：

H01L 21/3205 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1343 , G02F 1/1368 , G09F 9/00 352 , H01L 29/786

FI (6件)：

H01L 21/88 Z , G02F 1/13 101 , G02F 1/1343 , G09F 9/00 352 , G02F 1/136 500 , H01L 29/78 612 A

Fターム (52件)：

2H088FA07 , 2H088FA14 , 2H088FA30 , 2H088HA01 , 2H088HA02 , 2H088HA08 , 2H088MA20 , 2H092HA04 , 2H092HA06 , 2H092JA24 , 2H092JB64 , 2H092JB72 , 2H092JB73 , 2H092KB25 , 2H092MA35 , 2H092MA47 , 2H092NA13 , 2H092NA29 , 2H092NA30 , 2H092PA01 , 5F033HH08 , 5F033HH11 , 5F033HH38 , 5F033PP00 , 5F033QQ53 , 5F033QQ54 , 5F033SS00 , 5F033XX36 , 5F110AA27 , 5F110BB01 , 5F110CC07 , 5F110DD01 , 5F110DD03 , 5F110DD21 , 5F110DD22 , 5F110DD24 , 5F110DD30 , 5F110EE03 , 5F110NN12 , 5F110QQ01 , 5F110QQ16 , 5G435AA00 , 5G435AA17 , 5G435BB05 , 5G435BB12 , 5G435CC09 , 5G435EE41 , 5G435HH02 , 5G435HH12 , 5G435HH14 , 5G435KK05 , 5G435KK10

引用特許：

審査官引用 (5件)

液晶表示装置及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-302903 出願人：株式会社東芝
特開平3-249625
アドレス線修理構造及び薄膜作像装置に対する方法
公報種別：公表公報出願番号：特願平7-517522 出願人：ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ

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