特許
J-GLOBAL ID:200903093068585175
液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
落合 稔
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-187836
公開番号(公開出願番号):特開2004-130299
出願日: 2003年06月30日
公開日(公表日): 2004年04月30日
要約:
【課題】機能液滴吐出ヘッドを自動交換可能とすることにより、ワーク処理を効率良く行うことができる液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題とする。【解決手段】ワークWに対し、機能液を導入した機能液滴吐出ヘッド10を相対的に移動させながら機能液滴を選択的に吐出する液滴吐出装置1であって、相互に仕様および/または導入する機能液が異なる複数種の機能液滴吐出ヘッド10と、複数種の機能液滴吐出ヘッド10を交換可能に搭載するキャリッジ9と、複数種の機能液滴吐出ヘッド10を交換可能にストックするストッカ12と、各機能液滴吐出ヘッド10を、キャリッジ9およびストッカ12間で移載するヘッド移載機構13と、を備えたものである。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
ワークに対し、機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら機能液滴を選択的に吐出する液滴吐出装置であって、
複数の機能液滴吐出ヘッドと、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドを搭載するキャリッジと、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドをストックするストッカと、
前記各機能液滴吐出ヘッドを、前記キャリッジと前記ストッカとの間で移載するヘッド移載機構と、
前記機能液滴吐出ヘッドが搭載された前記キャリッジを、前記ワークに対し相対的に移動させる移動機構と、
前記機能液を前記複数の機能液滴吐出ヘッドに個々に供給する機能液供給手段と、
前記複数の機能液滴吐出ヘッドを個々に制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
IPC (4件):
B05C5/00
, B05D1/26
, G02B5/20
, H05B33/10
FI (4件):
B05C5/00 101
, B05D1/26 Z
, G02B5/20 101
, H05B33/10
Fターム (39件):
2H048BA64
, 2H048BB02
, 2H048BB42
, 2H091FA02Y
, 2H091FC18
, 2H091FC29
, 2H091LA12
, 3K007AB18
, 3K007BA06
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 4D075AC06
, 4D075AC09
, 4D075AC84
, 4D075AC88
, 4D075AC93
, 4D075BB65Y
, 4D075CB07
, 4D075CB08
, 4D075DA04
, 4D075DA06
, 4D075DB13
, 4D075DB31
, 4D075DC19
, 4D075DC21
, 4D075DC24
, 4D075EA07
, 4D075EC07
, 4D075EC11
, 4D075EC17
, 4F041AA02
, 4F041AA05
, 4F041AB01
, 4F041BA10
, 4F041BA13
, 4F041BA22
, 4F041BA34
, 4F041BA38
, 4F041BA60
引用特許:
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