特許

J-GLOBAL ID：200903093074619723

ネガ型感光性組成物とこれを用いるパターン形成方法

発明者： 船田 靖人 ,  表 利彦
出願人/特許権者： 日東電工株式会社
代理人 (1件)： 牧野 逸郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-273909
公開番号（公開出願番号）：特開2000-098609
出願日： 1998年09月28日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：

【要約】【課題】現像速度が早く、しかも、得られるポリイミド樹脂が従来のポリイミド樹脂の熱線膨張係数よりも小さく、従って、支持基板上にポリイミド樹脂からなる絶縁被膜を有する回路基板とした場合に、ポリイミド樹脂層に割れが生じたり、ポリイミド樹脂層が剥離したりせず、更に、反りが生じないようなネガ型感光性組成物を提供することを目的とする。【解決手段】本発明によるネガ型感光性組成物は、(a)式(I)【化1】で表わされる構造単位と式(II)【化2】で表わされる構造単位とからなる線状ポリイミド樹脂前駆体と、(b)感光剤とを含む。

請求項（抜粋）：

(a) 式(I)【化1】で表わされる構造単位と式(II)【化2】で表わされる構造単位とからなる線状ポリイミド樹脂前駆体と(b) 感光剤とを含むことを特徴とするネガ型感光性組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/038 504 ,  C08K 5/3432 ,  C08L 79/08 ,  G03F 7/004 503

FI (4件)：

G03F 7/038 504 ,  C08K 5/3432 ,  C08L 79/08 A ,  G03F 7/004 503 Z

Fターム (18件)：

2H025AA00 ,  2H025AA04 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AC04 ,  2H025AC06 ,  2H025AD01 ,  2H025CA28 ,  2H025CB25 ,  2H025EA10 ,  2H025FA01 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J002CM041 ,  4J002EU046 ,  4J002GP03

引用特許：

審査官引用 (3件)

• フッ素化された反応体からのポリアミド酸およびポリイミド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-276710   出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
• 耐熱性フォトレジスト組成物および感光性基材、ならびにパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-256883   出願人：日東電工株式会社
• ポリイミド前駆体およびポリイミド、並びにネガ型感光性材料およびネガ型パターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-327498   出願人：日東電工株式会社