特許

J-GLOBAL ID：200903093096544913

磁気抵抗効果素子およびその製造方法

発明者： 張 坤亮 ,  李 民 ,  ラシッド スビア ,  廖 ▲煥▼中 ,  ▲劉▼ 越
出願人/特許権者： ヘッドウェイテクノロジーズ インコーポレイテッド
代理人 (2件)： 三反崎 泰司 ,  藤島 洋一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-049638
公開番号（公開出願番号）：特開2005-244237
出願日： 2005年02月24日
公開日（公表日）： 2005年09月08日
要約：

【課題】 フリー層における保磁力と磁歪定数とのバランスを最適化し、より高い信号検出感度を示す磁気抵抗効果素子を提供する。【解決手段】 MR素子1におけるフリー層20は、第1および第2のFeCo層31,32と、これらよりも厚みの大きな第1〜第4のCoFe層21〜24とを含む積層体である。第1および第2のFeCo層31,32は正の磁歪定数を有する第1の強磁性材料(FeCo)によって構成され、第1〜第4のCoFe層21〜24は負の磁歪定数を有する第2の強磁性材料(CoFe)によって構成される。このため、フリー層20全体としての磁歪定数λの絶対値が低減されるうえ、フリー層20の総体的なバルク散乱係数が高まるので抵抗変化率ΔR/Rが向上する。したがって、保磁力Hcを低減しつつ、より大きな抵抗変化率ΔR/Rを確保することができるので、信号検出感度を高めることができる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基体と、 前記基体上に形成されたシード層と、 前記シード層上に形成された反強磁性ピンニング層と、 前記反強磁性ピンニング層上に、第2のピンド層と非磁性結合層と第1のピンド層とが順に積層されてなるシンセティック反強磁性ピンド層と、 正の磁歪定数を有する第1の強磁性材料によって形成された第1の薄層と、負の磁歪定数を有する第2の強磁性材料によって形成され、前記第1の薄層よりも大きな厚みを有する第2の薄層とを少なくとも1つずつ含む積層構造からなるフリー層と、 前記フリー層上に形成された保護層と を備えたことを特徴とする磁気抵抗効果素子。

IPC (4件)：

H01L43/08 ,  G11B5/39 ,  H01F10/16 ,  H01F10/32

FI (5件)：

H01L43/08 M ,  H01L43/08 Z ,  G11B5/39 ,  H01F10/16 ,  H01F10/32

Fターム (4件)：

5D034BA03 ,  5E049AA04 ,  5E049BA12 ,  5E049CB01

引用特許：

出願人引用 (5件)

• 米国特許第5627704号明細書
  
• 米国特許第5668688号明細書
  
• 米国特許第6473279号明細書
  
• 米国特許第6344954号明細書
  
• 米国特許第6226197号明細書
  

審査官引用 (4件)

• スピンバルブ磁気抵抗効果素子の製造方法及び該素子を備えた薄膜磁気ヘッドの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-251479   出願人：ティーディーケイ株式会社
• 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド及び磁気再生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-246583   出願人：株式会社東芝
• 磁気抵抗効果素子および磁気抵抗効果型磁気ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-340637   出願人：ソニー株式会社
• 磁気ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-340280   出願人：株式会社日立製作所