特許

J-GLOBAL ID：200903093105770085

露光装置及び露光方法

発明者： 猿渡 清志
出願人/特許権者： 富士光研株式会社
代理人 (1件)： 松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-016065
公開番号（公開出願番号）：特開2002-221799
出願日： 2001年01月24日
公開日（公表日）： 2002年08月09日
要約：

【要約】【課題】 上下に配設した露光枠に載置したプリント基板等の被露光部材を交互に露光部に搬出入させて表裏一体にパターン露光を行なう様に成した露光装置に於いて、露光部での表裏側露光光路長や光量調整を行なわずに光量を等しく照射可能な露光装置及び露光方法を得る。【解決手段】 上側及び下側に配設した露光枠3A,3Bに載置した被露光部材7A,7Bを交互に露光部8に排出入させて表裏一体にパターン露光を行なう露光装置1の下側の露光枠3Bを露光部8へ搬入する際に傾斜させた搬入路を介して終端位置で上側の露光枠3A位置まで持ち上げた状態で下側の露光枠3Bの被露光部材7Bの露光を行なう露光装置及び露光方法を提供する。

請求項（抜粋）：

上下に配設した被露光部材の1つを露光部へ交互に搬送して該被露光部材の表裏を同時に露光する露光装置であって、上記被露光部材の1つを交互に上記露光部位置に持ち来した時に該被露光部材の表裏露光面が該露光部の上下に配設した露光光路の等位置に配される様に成したことを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

G03F 7/20 501 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/00

FI (4件)：

G03F 7/20 501 ,  H05K 3/00 H ,  H01L 21/30 502 J ,  H01L 21/30 510

Fターム (10件)：

2H097AA01 ,  2H097BB01 ,  2H097BB04 ,  2H097GA43 ,  2H097LA09 ,  2H097LA10 ,  5F046BA02 ,  5F046CD01 ,  5F046CD04 ,  5F046FC09

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 両面露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-170655   出願人：株式会社ウシオユーテック
• 特開昭55-163530
  
• 密着焼付け装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-032849   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 密着露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-085932   出願人：大日本スクリーン製造株式会社