特許

J-GLOBAL ID：200903093160766780

吸着装置及び吸着方法

発明者： 伊藤 忠司 ,  杉本 章 ,  笹森 覚嗣 ,  村田 憲弘 ,  春日 芳夫 ,  富永 孝介 ,  岡村 将光 ,  山本 和幸
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 宮田 金雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-281181
公開番号（公開出願番号）：特開2001-105368
出願日： 1999年10月01日
公開日（公表日）： 2001年04月17日
要約：

【要約】【課題】 薄膜シートを確実に安定した姿勢で吸着把持できる吸着装置を得ること。【解決手段】 中央部から周辺部に穿設された多数の小孔20e又は、スリット孔20sを有すると共に、フィルム1を吸着及び解放するほぼ平な吸着部15と、小孔20e又はスリット孔20sが設けられた中央部から周辺部の順に空気を吸引又は吹出しすることによりフィルム1を吸着部15に吸着又は解放する流体部100とを備えたものである。

請求項（抜粋）：

中央部から周辺部に穿設された多数の小孔又は、スリット孔を有すると共に、被吸着シートを吸着及び解放するほぼ平な吸着部と、上記小孔又は上記スリット孔が設けられた上記中央部から上記周辺部の順に空気を吸引又は吹出しすることにより上記被吸着シートを上記吸着部に吸着又は解放する吸引吹出し手段と、を備えたことを特徴とする吸着装置。

IPC (2件)：

B25J 15/06 ,  B65H 3/12 320

FI (3件)：

B25J 15/06 K ,  B25J 15/06 B ,  B65H 3/12 320 B

Fターム (30件)：

3C007DS01 ,  3C007FT11 ,  3C007FU00 ,  3C007FU04 ,  3C007GU03 ,  3C007NS09 ,  3C007NS11 ,  3F061AA01 ,  3F061CB05 ,  3F061CC00 ,  3F061CC13 ,  3F061DB00 ,  3F061DB04 ,  3F061DC03 ,  3F343FA09 ,  3F343FB01 ,  3F343JB03 ,  3F343JB15 ,  3F343JB16 ,  3F343JB17 ,  3F343JB19 ,  3F343JB24 ,  3F343JB25 ,  3F343MA03 ,  3F343MA09 ,  3F343MA40 ,  3F343MB03 ,  3F343MB09 ,  3F343MC13 ,  3F343MC21

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 基板吸着装置及び基板吸着方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-240277   出願人：株式会社ニコン
• 大型ガラス基板のエア吸着方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-346300   出願人：日立電子エンジニアリング株式会社
• 特開昭63-139632
  
• フィルム状部品用吸着ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-125246   出願人：株式会社半導体エネルギー研究所
• 研磨装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-021252   出願人：株式会社東京精密