セラミックスヒーター

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-169240
公開番号（公開出願番号）：特開2009-009795
出願日： 2007年06月27日
公開日（公表日）： 2009年01月15日
要約：

【課題】セラミックスヒーターの測温できる場所や装置構造の制約をなくし、装置の大幅な簡略化および低コスト化する。また、測温精度を高め、温度制御を高精度化する。【解決手段】複数の発熱抵抗体が埋設されたセラミックスからなる平板状の載置部と、前記複数の発熱抵抗体の埋設位置に形成された複数の発熱抵抗体領域と、各発熱抵抗体領域に埋設された少なくとも一つの測温素子とを備えることを特徴とするセラミックスヒーター。また、使用温度における前記セラミックスの体積抵抗率が10E+08Ω・cm以上である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数の発熱抵抗体が埋設されたセラミックスからなる平板状の載置部と、前記複数の発熱抵抗体の埋設位置に形成された複数の発熱抵抗体領域と、各発熱抵抗体領域に埋設された少なくとも一つの測温素子と、を備えることを特徴とするセラミックスヒーター。

IPC (4件)：

H05B 3/74 , H01L 21/02 , H05B 3/00 , H05B 3/10

FI (5件)：

H05B3/74 , H01L21/02 Z , H05B3/00 370 , H05B3/00 310E , H05B3/10 C

Fターム (19件)：

3K058AA42 , 3K058BA14 , 3K058CA69 , 3K058CE21 , 3K092PP20 , 3K092QA05 , 3K092QB02 , 3K092QB26 , 3K092QB32 , 3K092QB43 , 3K092QB45 , 3K092RF03 , 3K092RF11 , 3K092RF17 , 3K092RF19 , 3K092RF27 , 3K092UA05 , 3K092UA17 , 3K092VV40

引用特許：

出願人引用 (1件)

特許第3319593号公報

審査官引用 (6件)

特開昭54-137141
ウェハ支持部材
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-130399 出願人：京セラ株式会社
窒化アルミニウム質セラミックスおよび半導体製造用部材
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-330633 出願人：日本碍子株式会社

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