特許
J-GLOBAL ID:200903093197958638
微細な試料を可視化する装置と方法、微細な格子の乱れを可視化する装置と方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
,
代理人 (1件):
特許業務法人快友国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-058733
公開番号(公開出願番号):特開2006-242746
出願日: 2005年03月03日
公開日(公表日): 2006年09月14日
要約:
【課題】 複雑で高価な装置を用いることなく光を用いた観察によって微細な試料を可視化することが可能な技術を提供する。【解決手段】 本発明の装置は微細な試料を可視化する装置であって、試料を載置可能な載置面を備え格子状に変化する光透過特性の分布を備える載置板と、載置板に光を照射する光源と、載置面と略平行な撮像面に形成される像の画像データを取得する画像データ取得手段と、取得した画像データを復元する復元装置を備えている。その復元装置は、取得された画像データを光学系を伝達したことによって劣化した画像として扱い、原画像への復元処理を行う。その復元装置は、劣化画像の分布、原画像の分布を、確率密度関数の分布として捉え、伝達関数を条件付確率の確率密度関数として捉える。上記の確率密度関数についてのBayesの理論に基づく関係式から、劣化画像の分布に対して最大に尤もらしい原画像の分布を反復計算によって算出する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
微細な試料を可視化する装置であって、
試料を載置可能な載置面を備え、載置面に沿って格子状に変化する光透過特性の分布を備える載置板と、
載置板に光を照射する光源と、
載置面と略平行な撮像面を備えており、載置板で回折された光が撮像面に形成する像の画像データを取得する画像データ取得手段と、
取得した画像データを復元する復元装置を備えており、
前記復元装置は、
(A1)取得した画像データを劣化画像の分布に変換する処理と、
(B1)原画像の最初の推定分布を特定する処理と、
(C1)伝達系のインパルス応答の最初の推定分布を特定する処理と、
(D1)前記劣化画像の分布と、原画像の推定分布と、インパルス応答の推定分布に基づいて、インパルス応答の推定分布を更新する処理と、
(E1)前記劣化画像の分布と、原画像の推定分布と、インパルス応答の推定分布に基づいて、原画像の推定分布を更新する処理と、
(F1)上記(D1)と(E1)の処理を交互に繰返す処理と、
(G1)更新された原画像の推定分布を画像データに変換する処理、
を実施するものであり、
前記(D1)のインパルス応答の推定分布を更新する処理は、
(D1-1)原画像の推定分布をフーリエ変換して、原画像の推定分布のスペクトル分布を得る処理と、
(D1-2)インパルス応答の推定分布をフーリエ変換して第1の関数を得る処理と、
(D1-3)前記第1の関数に前記原画像の推定分布のスペクトル分布を乗じて第2の関数を得る処理と、
(D1-4)前記第2の関数を逆フーリエ変換して第3の関数を得る処理と、
(D1-5)前記劣化画像の分布を前記第3の関数で除して第4の関数を得る処理と、
(D1-6)前記第4の関数をフーリエ変換して第5の関数を得る処理と、
(D1-7)前記第5の関数に前記原画像の推定分布のスペクトル分布の反転関数を乗じて第6の関数を得る処理と、
(D1-8)前記第6の関数を逆フーリエ変換して第7の関数を得る処理と、
(D1-9)前記インパルス応答の推定分布に前記第7の関数を乗じて、インパルス応答の次の推定分布を得る処理と、
(D1-10)インパルス応答の次の推定分布をインパルス応答の推定分布に置き換える処理
を備えており、
前記(E1)の原画像の推定分布を更新する処理は、
(E1-1)インパルス応答の推定分布をフーリエ変換して、伝達系の周波数応答の推定分布を得る処理と、
(E1-2)原画像の推定分布をフーリエ変換して第8の関数を得る処理と、
(E1-3)前記第8の関数に前記周波数応答の推定分布を乗じて第9の関数を得る処理と、
(E1-4)前記第9の関数を逆フーリエ変換して第10の関数を得る処理と、
(E1-5)前記劣化画像の分布を前記第10の関数で除して第11の関数を得る処理と、
(E1-6)前記第11の関数をフーリエ変換して第12の関数を得る処理と、
(E1-7)前記第12の関数に前記周波数応答の推定分布の反転関数を乗じて第13の関数を得る処理と、
(E1-8)前記第13の関数を逆フーリエ変換して第14の関数を得る処理と、
(E1-9)原画像の推定分布に前記第14の関数を乗じて、原画像の次の推定分布を得る処理と、
(E1-10)原画像の次の推定分布を原画像の推定分布に置き換える処理と、
を備えている、
ことを特徴とする可視化装置。
IPC (6件):
G01N 21/956
, G01B 11/30
, G01N 21/88
, G03F 1/08
, G06T 1/00
, G06T 7/00
FI (6件):
G01N21/956 A
, G01B11/30 A
, G01N21/88 J
, G03F1/08 T
, G06T1/00 305A
, G06T7/00 300H
Fターム (54件):
2F065AA49
, 2F065AA54
, 2F065BB02
, 2F065CC18
, 2F065DD03
, 2F065FF04
, 2F065FF07
, 2F065FF48
, 2F065GG07
, 2F065HH14
, 2F065JJ03
, 2F065JJ09
, 2F065JJ26
, 2F065LL42
, 2F065QQ16
, 2F065QQ41
, 2F065SS02
, 2G051AA56
, 2G051AA90
, 2G051AB02
, 2G051BA10
, 2G051CA03
, 2G051CA04
, 2G051CA06
, 2G051CB02
, 2G051CB06
, 2G051EA12
, 2G051EA23
, 2G051EC02
, 2G051EC04
, 2G051ED30
, 2H095BD02
, 2H095BD04
, 2H095BD12
, 2H095BD15
, 5B057AA03
, 5B057BA02
, 5B057CA08
, 5B057CA12
, 5B057CA16
, 5B057CB08
, 5B057CB12
, 5B057CB16
, 5B057CD01
, 5B057CE03
, 5B057CH20
, 5B057DA04
, 5B057DA16
, 5B057DB02
, 5B057DB09
, 5L096AA06
, 5L096BA03
, 5L096CA02
, 5L096FA23
引用特許:
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