特許
J-GLOBAL ID：200903024510420901
表面検査装置及び表面検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 崇生 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-192267
公開番号（公開出願番号）：特開2001-021332
出願日： 1999年07月06日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：
【要約】【課題】検査面が平滑な被検体において、被検体に許容され得る曲面を表面欠陥として誤検出することなく、表面欠陥を簡便且つ確実に検出することのできる表面検査装置及び表面検査方法を提供すること。【解決手段】 微細チェッカーパターンを被検体に対して照明する照明装置2と、前記微細チェッカーパターンを被検体1の表面反射を利用して撮像するカメラ3と、カメラ3により撮像された原画像を解析する画像解析装置4とを備え、画像解析装置4は、前記原画像中のチェッカーパターンのゆがみとチェッカーパターンの明部と暗部の明るさの変化の度合いを解析することにより、被検体1の表面欠陥を検出する。
請求項（抜粋）：
微細チェッカーパターンを被検体に対して照明する照明手段と、前記微細チェッカーパターンが照明された前記被検体を撮像する撮像手段と、この撮像手段により撮像された原画像を解析する画像解析手段とを備えた表面検査装置において、前記画像解析手段は、前記原画像中の微細チェッカーパターンのゆがみと明部と暗部の明るさの変化の度合いを解析することにより、前記被検体の表面欠陥を検出するように構成されていることを特徴とする表面検査装置。
Fターム (24件)：
2F065AA49
, 2F065AA56
, 2F065BB22
, 2F065BB28
, 2F065CC02
, 2F065CC21
, 2F065DD03
, 2F065FF04
, 2F065FF42
, 2F065GG18
, 2F065HH06
, 2F065HH12
, 2F065JJ03
, 2F065JJ08
, 2F065JJ26
, 2F065LL41
, 2F065QQ00
, 2F065QQ03
, 2F065QQ13
, 2F065QQ21
, 2F065QQ32
, 2F065SS13
, 2F065UU01
, 2F065UU08
