特許
J-GLOBAL ID：200903093236770480
赤外線検知素子およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石井 和郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-153152
公開番号（公開出願番号）：特開平11-344377
出願日： 1998年06月02日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
要約：
【要約】【課題】 熱物体検知素子と絶対温度検知素子が同一基板上に配置された、低価格で小型・コンパクトな赤外線検知素子を提供することを目的とする。【解決手段】 基板101として(100)面MgO単結晶基板を用い、その上に焦電型検知部120と抵抗変化型検知部130の二種の素子が配置される。焦電型検知部120は、Pt膜からなる下部電極102を介してPb0.9La0.1Ti0.975O3からなる焦電体膜103を配置し、その上に上部電極104のNi-Cr膜が配置される。抵抗変化型検知部130は、基板101上にシリコン酸化膜とシリコン窒化膜の積層構成からなる熱的絶縁膜105を介して抵抗体膜106が配置される。各検知部120、130の直下の基板部分には空隙部109が配置される。
請求項（抜粋）：
同一基板上に焦電型検知部と抵抗変化型検知部とを配置した赤外線検知素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01J 1/02 Y
, G01J 5/02 P
