特許
J-GLOBAL ID：200903093371539658

電磁波センサ、撮像素子及び撮像装置

発明者：
池 田 成

池 田 成 について

, 
本 多 浩 大

本 多 浩 大 について

, 
飯 田 義 典

飯 田 義 典 について

, 
藤 原 郁 夫

藤 原 郁 夫 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (6件)： 吉武 賢次 ,  橘谷 英俊 ,  佐藤 泰和 ,  吉元 弘 ,  川崎 康 ,  小原 弘揮
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-333226
公開番号（公開出願番号）：特開2008-145289
出願日： 2006年12月11日
公開日（公表日）： 2008年06月26日
要約：
【課題】本発明は、所定周波数のミリ波・サブミリ波のみを選択的かつ高感度に検出できる、簡便で安価な電磁波センサ、撮像素子及び撮像装置を提供する。【解決手段】複数のアンテナ要素間の間隙における間隔は、赤外光の波長より小さくなるように形成され、かつ複数のアンテナ要素間の間隙によって電気的に形成されるコンデンサと、電気抵抗部とは、アンテナ部に電気的に結合される並列回路を形成し、所定の周波数を有する電磁波に対しては、アンテナ部と並列回路とのインピーダンス整合が取れ、所定の周波数を有する電磁波の高調波に対しては、インピーダンス整合が取れなくなるように、複数のアンテナ要素が形成された。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
表面に凹部が形成された半導体基板と、 セル部と、 前記セル部に電気的に接続された配線を備え前記セル部を前記凹部内又は前記凹部上に支持する支持部とを備え、 前記セル部は、 複数のアンテナ要素を備え入射された電磁波を検出し当該電磁波を電気信号に変換するアンテナ部と、 前記アンテナ部の下方に配置され、前記複数のアンテナ要素とそれぞれ電気的に接続され、前記電気信号に応じた電気エネルギーをジュール熱に変換することにより、前記セル部の温度を変化させる電気抵抗部と、 前記配線部と電気的に接続され、かつ前記アンテナ部及び前記電気抵抗部とは電気的に絶縁され、かつ前記電気抵抗部とは熱的に接続され、前記セル部の温度変化を検出し当該温度変化を電気信号に変換する熱電変換素子とを備え、 前記複数のアンテナ要素間の間隙における間隔は、赤外光の波長より小さい ことを特徴とする電磁波センサ。
IPC (5件)：
G01R 19/00 ,  H01L 27/14 ,  H04N 5/30 ,  H04N 5/335 ,  G01N 21/35
FI (5件)：
G01R19/00 D ,  H01L27/14 D ,  H04N5/30 ,  H04N5/335 U ,  G01N21/35 Z
Fターム (32件)：
2G035AA03 ,  2G035AD10 ,  2G035AD66 ,  2G059HH01 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ14 ,  2G059KK04 ,  2G059KK09 ,  2G059MM09 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118BA14 ,  4M118CA03 ,  4M118CA32 ,  4M118EA01 ,  4M118EA14 ,  4M118EA18 ,  4M118GA09 ,  4M118GC07 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  4M118GD11 ,  4M118HA30 ,  5C024AX00 ,  5C024CX41 ,  5C024CY47 ,  5C024GX02 ,  5C024GX15 ,  5C024GY31 ,  5C024HX23 ,  5C024HX31
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (7件)
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引用文献：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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