特許
J-GLOBAL ID：200903007837371660

電磁波を用いる検査装置

発明者：
井辻 健明

井辻 健明 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (2件)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-056493
公開番号（公開出願番号）：特開2006-300925
出願日： 2006年03月02日
公開日（公表日）： 2006年11月02日
要約：
【課題】 検査装置を取り巻く雰囲気による電磁波の減衰を抑制でき、電磁波の伝搬経路中に不要な物質が混入するのを防止しやすい構成の検査装置である。【解決手段】 検査装置100は、検体104を保持する構造を内包する基板103と、アンテナ構造を有する電磁波発信部101と、アンテナ構造を有する電磁波受信部102とを有する。基板103に対して、電磁波発信部101と電磁波受信部102が密着して配置されている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
検体を保持する構造を内包する基板と、 検体に電磁波を照射するためのアンテナ構造を有する電磁波発信部と、 前記電磁波を受信するためのアンテナ構造を有する電磁波受信部とを有し、 前記基板に対して、前記電磁波発信部と前記電磁波受信部が密着して配置されていることを特徴とする検査装置。
IPC (1件)：
G01N 21/35
FI (1件)：
G01N21/35 Z
Fターム (9件)：
2G059AA01 ,  2G059BB12 ,  2G059EE01 ,  2G059EE12 ,  2G059GG01 ,  2G059GG08 ,  2G059HH01 ,  2G059KK01 ,  2G059MM05
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (6件)
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引用文献：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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