特許

J-GLOBAL ID：200903093394008609

ウェーハボート

発明者： 須藤 俊明 ,  野々垣 嘉久 ,  戸塚 敏
出願人/特許権者： 三菱マテリアルシリコン株式会社
代理人 (1件)： 安倍 逸郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-272303
公開番号（公開出願番号）：特開2001-093966
出願日： 1999年09月27日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】【課題】 ボードの洗浄や補修が容易で、支持ロッドを保持部材に確実かつ堅固に保持するウェーハボートを提供する。【解決手段】 ウェーハボート10の組み立て時において、各支持ロッド11は、対応するキー掛止構造のキー13によって、各端板12の支持ロッド11の保持位置より内側(中央側)からしっかりと掛止される。一方、コッタ15によって端板12の外側からもしっかりと保持される。その結果、仮にウェーハボート10の取り扱い時に、このボート10に多少の外力が加わっても、各支持ロッド11を端板12に堅固に保持することができる。

請求項（抜粋）：

ウェーハを支持する複数本の支持ロッドと、それぞれの支持ロッドの両端部を保持する一対の保持部材とを備えたウェーハボートであって、上記各支持ロッドは、この支持ロッドより内側に配置された第1の掛止部材と、上記支持ロッドより外側に配置された第2の掛止部材とにより、上記保持部材に着脱自在に掛止されるウェーハボート。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/324

FI (3件)：

H01L 21/68 N ,  H01L 21/31 F ,  H01L 21/324 Q

Fターム (8件)：

5F031CA02 ,  5F031HA64 ,  5F031HA65 ,  5F045BB08 ,  5F045BB10 ,  5F045BB13 ,  5F045EM08 ,  5F045EM09

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 縦型ウエーハボート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-095199   出願人：株式会社テクニスコ
• ウエハボート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-183272   出願人：東芝セラミックス株式会社
• ウエーハ支持具及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-077473   出願人：住友シチックス株式会社
• 特開平4-148550
  

審査官引用 (5件)

• 縦型ウエーハボート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-095199   出願人：株式会社テクニスコ
• ウエハボート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-183272   出願人：東芝セラミックス株式会社
• ウエーハ支持具及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-077473   出願人：住友シチックス株式会社
• 特開平4-148550
  
• 特開平4-148550