特許
J-GLOBAL ID：200903093469580265
静電マイクロアクチュエータ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-183301
公開番号（公開出願番号）：特開2001-009796
出願日： 1999年06月29日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
要約：
【要約】【課題】 垂直方向への大きな駆動が可能であるとともに、駆動力の発生点が駆動中において変化することのない、新たな静電マイクロアクチュエータを提供する。【解決手段】 本発明の静電マイクロアクチュエータ10は、基板1と、基板電極絶縁層2と、基板電極3と、駆動電極絶縁層5と、駆動電極8とを具えている。これらはこの順に積層されており、基板電極絶縁層2及び駆動電極絶縁層5は、それぞれ基板1と基板電極3、及び基板電極3と駆動電極8を分離絶縁している。基板電極3には基板電極パッド部4が形成されており、駆動電極8には駆動電極パッド部7が形成されている。そして、このパッド部間所定の電圧を印加することにより、駆動電極8を螺旋中心軸A-A線に沿って上下方向に駆動させる。
請求項（抜粋）：
基板と、基板電極絶縁層と、基板電極と、駆動電極絶縁層と、駆動電極とを具え、これらがこの順に積層されてなるとともに、前記駆動電極は螺旋状を呈することを特徴とする、静電マイクロアクチュエータ。
IPC (4件)：
B81B 3/00
, G11B 7/09
, H02N 1/00
, G11B 11/105 556
B81B 3/00
, G11B 7/09 D
, H02N 1/00
, G11B 11/105 556 F
5D075AA03
, 5D075AA08
, 5D075CE12
, 5D118AA01
, 5D118EA00
, 5D118FA12
