特許
J-GLOBAL ID：200903093511904963
アクティブマトリックスパネルおよびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-322715
公開番号（公開出願番号）：特開平8-179372
出願日： 1994年12月26日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：
【要約】【目的】ゲート絶縁膜等の成膜時にゲートラインの端子部の表面に突起が発生してしまうことがないようにした、ゲートラインの端子部分にコンタクト不良が発生するのを防いで製造歩留を向上させることができるアクティブマトリックスパネルを提供する。【構成】ゲートライン11の表面をその端子部11aの少なくとも駆動回路とのコンタクト領域を除いて陽極酸化するとともに、前記端子部11aの表面をCrからなる高融点金属膜15で覆った。
請求項（抜粋）：
アクティブマトリックス型液晶表示素子に用いるアクティブマトリックスパネルであって、基板上に、複数の画素電極と、これら画素電極にそれぞれ対応する複数の薄膜トランジスタと、前記薄膜トランジスタにゲート信号およびデータ信号を供給するゲートラインおよびデータラインとを設けてなり、かつ、前記ゲートラインの表面がその端子部の少なくとも駆動回路とのコンタクト領域を除いて陽極酸化されているとともに、前記端子部の表面が高融点金属膜で覆われていることを特徴とするアクティブマトリックスパネル。
IPC (2件)：
G02F 1/136 500
, H01L 29/786
