特許
J-GLOBAL ID：200903093632059357

電気デバイスおよび複合スタック電極の作製方法

発明者：
パナヨティス・コンスタンティノウ・アンドリカコス

パナヨティス・コンスタンティノウ・アンドリカコス について

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デヴィッド・エドワード・コテッキ

デヴィッド・エドワード・コテッキ について

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キャサリン・リン・センガー

キャサリン・リン・センガー について


出願人/特許権者：
インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション

インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション について


代理人 (1件)： 坂口 博 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-086205
公開番号（公開出願番号）：特開平10-041478
出願日： 1997年04月04日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：
【要約】【課題】 頂部電極と底部電極との間に、強誘電体またはコンデンサ誘電体材料を有する記憶素子を提供する。【解決手段】 本発明は、スタック電極の構造および作製方法である。このスタック電極は、複合的である。その理由は、スタック電極は、2種以上の材料からなり、これら材料が、別個にパターニングされるか、あるいは、各材料が、強誘電体またはコンデンサ誘電体が最初に付着される領域にかなり寄与するように配置されているからである。これらの複合スタック電極は、処理の容易さ,貴金属材料の経済的利用,同一寸法のソリッド単一材料電極に対する機械的安定性の増大をもたらす。
請求項（抜粋）：
基板と、前記基板内に、第1の導電材料で形成された第1の導電領域と、前記基板上に形成された第1の誘電体層とを備え、前記第1の誘電体層は、前記第1の導電領域の或る部分上に第1の開口を有し、前記第1の開口は、第2の導電材料でほぼ充填されて、導電プラグを形成し、前記導電プラグの直上に電気的に接触した、全体的または部分的な導電複合スタック電極と、前記複合スタック電極の露出面上に形成された、ほぼ均一な厚さの第2の誘電体材料の層と、前記誘電体材料の直上に第3の導電材料のプレート電極とを備え、前記プレート電極は、前記複合スタック電極とは電気的に絶縁されている、ことを特徴とする電気デバイス。
IPC (8件)：
H01L 27/10 451 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/822 ,  H01L 27/108 ,  H01L 21/8242 ,  H01L 21/8247 ,  H01L 29/788 ,  H01L 29/792
FI (4件)：
H01L 27/10 451 ,  H01L 27/04 C ,  H01L 27/10 651 ,  H01L 29/78 371
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (5件)
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