表面処理剤及び表面処理方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：細田芳徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-095939
公開番号（公開出願番号）：特開平9-255940
出願日： 1996年03月25日
公開日（公表日）： 1997年09月30日
要約：

【要約】【解決手段】含窒素化合物からなる表面処理剤、含窒素化合物又は該含窒素化合物の中和物を含有することを特徴とする表面処理剤組成物及び表面処理剤組成物を使用して被処理物の固体表面を疎水化処理することを特徴とする表面処理方法。【効果】本発明によると、表面処理剤及び表面処理剤組成物を洗浄工程中または洗浄工程後に使用すると、固体表面が疎水化されて最後の純水置換において固体への付着水の量を減らし、水シミの発生を防止して乾燥時間を短縮できる。また、金属部品に対しては防錆効果がある。さらに処理後の固体表面において各種の接着剤を使用した時に、必要でない箇所への接着剤の濡れ広がりを防止することができる。

請求項（抜粋）：

一般式(1)、(2)、(3)及び(4)からなる群より選ばれる含窒素化合物からなる表面処理剤。【化1】(式中、R1 は炭素数8〜20の炭化水素基を示し、R2 及びR3 は水素原子又は炭素数1〜20の炭化水素基を示す。)【化2】(式中、R4 は炭素数8〜20の炭化水素基を示し、R5 、R6 及びR7 は炭素数1〜20の炭化水素基を示す。また、BはCl、Br、I、OH、HSO4 、CH3 SO4 、C2 H5 SO4 、CH3 SO3 、CH3 C6 H4 SO3 、CH3(CH2 )5 SO3 、H2 PO4 、R5 OHPO3 又は(R5 O)2 PO2 を示す。)【化3】(式中、R8 及びR10は炭素数8〜20の炭化水素基を示し、R9 は炭素数1〜20の炭化水素基を示し、m及びnは1〜20の数を示し、Aは炭素数2〜4のアルキレン基を示す。)

IPC (5件)：

C09K 3/18 101 , C23C 22/00 , C23F 11/14 , C23G 5/036 , H01L 21/304 341

FI (5件)：

C09K 3/18 101 , C23C 22/00 Z , C23F 11/14 , C23G 5/036 , H01L 21/304 341 L

引用特許：

審査官引用 (8件)

洗浄剤組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-163307 出願人：徳山石油化学株式会社
特開平3-162496
洗浄剤組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-315247 出願人：メツク株式会社

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